薄形真空ポンプシステム ZQシリーズ

注1）外形図はZQ1000U-K1□ L-E□□G□-00です。ZQ1000U-K1□ □□-F□-00の場合は全長寸法が93mmとなります。
注2）※寸法はブラケットA取り付け時の寸法です。
注3）本体を取り付ける際はトルク0.6±0.06N・mで締め付けてください。過大な締め付けトルクをかけるとボディが破損する可能性があります。
注4）ZQシリーズの配管ポートで、PS、PV、V、PEポートはワンタッチ管継手を使用することを前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。

外形図はZQ1000U-J1□ L-E□□G-00です。ZQ1000U-J1□□□□-F□-00の場合は全長寸法が93mmとなります。
注2）ブラケットA取り付け時の寸法はK1タイプに準じます。
注3）本体を取り付ける際はトルク0.6±0.06N・mで締め付けてください。過大な締め付けトルクをかけるとボディが破損する可能性があります。
注4）ZQシリーズの配管ポートで、PS、PV、V、PEポートはワンタッチ管継手を使用することを前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。
注5）ワーク離脱のために真空破壊用回路を別途設定してください。

注1）外形図はZQ1000U-J1□□□□-F-00です。ZQ1000U-K1□ □- □□□-00の場合は全長寸法が113.3mmとなります。
注2）ブラケットA取り付け時の寸法はK1タイプに準じます。
注3）本体を取り付ける際はトルク0.6±0.06N・mで締め付けてください。
過大な締め付けトルクをかけるとボディが破損する可能性があります。
注4）ZQシリーズの配管ポートで、PS、PE、PV、Vポートはワンタッチ管継手を使用することを前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。

J1タイプ

ZQ1000U-J1□□□□-□□□□-□□

K2タイプ

ZQ1000U-K2□□□-□□□□-□□□