ピラニゲージ／ピラニゲージ（耐蝕型） 【M-350PG／M-351PG】

ピラニゲージ。
【概要】
・大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。
・低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。
【特長】
・低・中真空領域の測定に最適。
【用途】
・粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など。

ピラニゲージ（耐蝕型）。
【概要】
・Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。
【特長】
・耐食性の向上。
・再現性がよく低価格。
・5×10の-2乗Paから大気圧。
・取付方向の制約なし。
【用途】
・半導体、電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など。
・食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など。