メカニカル部品技術窓口
カバーキャップ SCAP-AL/CE/PT
- パック/バラ
- バラ(1個から購入可能)
ご注意
- こちらの商品画像は代表画像です。詳細は商品規格をご覧下さい。
- 単価(税別)
- -円
- 合計(税別)
- -円(税込価格：-円)
- 出荷日
- -(参考出荷日：-円)
商品情報
製品仕様
SCAP-ALの外観
※こちらの商品画像は代表画像です。
SCAP-ALの寸法図
（単位：mm）
| 品番 | M | H | D1 | h | a | ta | 推奨締めつけトルク （N・m） | 適用カバーキャップ用ボルト SNCPS | 質量 （g） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAP-3-AL | M5×0.5 | 5 | 7 | 2 | 0.8 | 0.6 | 0.1 | SNCPS-M3 | 0.4 |
| SCAP-4-AL | M6×0.75 | 7 | 8 | 2.8 | 1.2 | 1 | 0.15 | SNCPS-M4 | 0.6 |
| SCAP-5-AL | M8×0.75 | 8 | 10 | 3.5 | 1.2 | 1 | 0.3 | SNCPS-M5 | 1 |
| SCAP-6-AL | M10×0.75 | 9 | 12 | 4 | 1.6 | 1.2 | 0.4 | SNCPS-M6 | 1.5 |
| SCAP-8-AL | M12×1 | 11 | 14 | 5 | 2 | 1.8 | 0.6 | SNCPS-M8 | 2.3 |
| SCAP-10-AL | M16×1 | 12 | 18 | 6 | 2.5 | 2 | 0.8 | SNCPS-M10 | 3.7 |
SCAP-CEの外観
※こちらの商品画像は代表画像です。
SCAP-CEの寸法図
（単位：mm）
| 品番 | M | H | D1 | h | B | tB | 推奨締めつけトルク （N・m） | 適用カバーキャップ用ボルト SNCPS | 質量 （g） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAP-3-CE | M5×0.5 | 6 | 9 | 2 | 7 | 3 | 0.1 | SNCPS-M3 | 1.2 |
| SCAP-4-CE | M6×0.75 | 8 | 10 | 2.8 | 8 | 3 | 0.15 | SNCPS-M4 | 2 |
| SCAP-5-CE | M8×0.75 | 9 | 12 | 3.5 | 9 | 3 | 0.3 | SNCPS-M5 | 3 |
| SCAP-6-CE | M10×0.75 | 10 | 14 | 4 | 11 | 4 | 0.4 | SNCPS-M6 | 4.3 |
| SCAP-8-CE | M12×1 | 11 | 16 | 5 | 13 | 4 | 0.6 | SNCPS-M8 | 5.8 |
| SCAP-10-CE | M16×1 | 12 | 20 | 6 | 17 | 4 | 0.8 | SNCPS-M10 | 9.2 |
SCAP-PTの外観
※こちらの商品画像は代表画像です。
SCAP-PTの寸法図
（単位：mm）
| 品番 | M | H | D1 | h | B | tB | 推奨締めつけトルク （N・m） | 適用カバーキャップ用ボルト SNCPS | 質量 （g） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAP-3-PT | M5×0.5 | 6 | 9 | 2 | 7 | 3 | 0.04 | SNCPS-M3 | 0.65 |
| SCAP-4-PT | M6×0.75 | 8 | 10 | 2.8 | 8 | 3 | 0.08 | SNCPS-M4 | 1.1 |
| SCAP-5-PT | M8×0.75 | 9 | 12 | 3.5 | 9 | 3 | 0.2 | SNCPS-M5 | 1.6 |
| SCAP-6-PT | M10×0.75 | 10 | 14 | 4 | 11 | 4 | 0.35 | SNCPS-M6 | 2.3 |
| SCAP-8-PT | M12×1 | 11 | 16 | 5 | 13 | 4 | 0.45 | SNCPS-M8 | 3.1 |
| SCAP-10-PT | M16×1 | 12 | 20 | 6 | 17 | 4 | 0.6 | SNCPS-M10 | 4.8 |
使用方法
SCAPの使用方法
SCAPの取り付けイメージ図
カバーキャップ用ボルトSNCPSを締めつけた後、カバーキャップSCAPをSNCPSの頭部をカバーするように取りつける。
SCAPの締めつけトルクは、上記表中の推奨締めつけトルクを超えないようにすること。
SCAP-PTの使用方法
SCAP-PTの取り付けイメージ図
注意・禁止事項
- 耐蝕性は使用条件により変化します。事前に必ず実際と同じ使用条件でテストしてください。
- 記載の寸法・形状その他の規格は改良のため予告なく変更することがあります。
- 商品情報の制作には正確を期していますが、誤記・脱字による損害については責任を負いかねます。
型番リスト
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
661円 ( 727円 ) | 4日目 |
3,797円 ( 4,177円 ) | 4日目 |
1,563円 ( 1,719円 ) | 4日目 |
661円 ( 727円 ) | 4日目 |
3,997円 ( 4,397円 ) | 4日目 |
1,619円 ( 1,781円 ) | 4日目 |
661円 ( 727円 ) | 4日目 |
4,297円 ( 4,727円 ) | 4日目 |
1,808円 ( 1,989円 ) | 4日目 |
729円 ( 802円 ) | 4日目 |
4,897円 ( 5,387円 ) | 4日目 |
1,791円 ( 1,970円 ) | 4日目 |
754円 ( 829円 ) | 4日目 |
5,597円 ( 6,157円 ) | 4日目 |
1,879円 ( 2,067円 ) | 4日目 |
768円 ( 845円 ) | 4日目 |
6,297円 ( 6,927円 ) | 4日目 |
2,125円 ( 2,338円 ) | 4日目 |
詳細情報
基本情報
真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止するカバーキャップ。
【特長】
・ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られる。
・クリーン洗浄・クリーン梱包済み。
【用途】
・カバーキャップSCAPとカバーキャップ用ボルトSNCPSを組み合わせて使用。
・成膜装置／エッチング装置／FPD製造装置／半導体製造装置。
ご注意
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