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接続種類詳細
流量シリーズ(l/min)
~mm- 20
- 50
2次側設定圧力(MPa)
CAD
- 2D
- 3D
出荷日
- すべて
- 18日以内
プロセスガス用レギュレータ PGMシリーズ
- 一部SALE 2026/01/31まで
- 通常単価(税別)
- 131,731円～140,952円特別価格
- 税込単価
- 144,904円～155,047円特別価格
メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用レギュレータです。【特長】・ガス圧力...
詳細情報を確認する未確定：候補が5型番あります。
商品情報
外形図
注:流路方向はボディに矢印で表示しています。
製品仕様
| 項目 | PGM- | 30V | 30 | 50 | - | 100 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PGM-H- | - | - | - | 60 | 100 | |
| 使用流体 | 不活性ガス・プロセスガス | |||||
| 最高使用圧力 MPa | 1.0 | |||||
| 設定圧力 MPa | -0.07～0.21 | 0～0.21 | 0～0.35 | 0～0.42 | 0～0.7 | |
| 流体温度 ℃ | -5～40 | |||||
| 弁座漏れ Pa・m3/s（He） | 1.0×10-8以下 | |||||
| 外部漏れ Pa・m3/s（He） | 2.8×10-12以下 | |||||
| 耐圧力 MPa | 1.5 | |||||
| 周囲温度 ℃ | -5～40 | |||||
| 接ガス部表面処理 | 電解研磨仕様 | |||||
| 接続方式 | 各種集積弁インタフェース（PGM-※-1、2、3、4、5） | |||||
| 1/4"JXR継手（VCR継手と接続可能）（PGM-※-4R、4RM、4MF、4FM） | ||||||
| 質量 kg | 0.39（PGM-※-4） | |||||
構造図
部品リスト
| 品番 | 部品名称 | 材質 |
|---|---|---|
| （1） | ボディ | SUS316L |
| （2） | ダイアフラム | ハステロイ®C-22 |
| （3） | シート | PFAまたはPI（（オプション） |
| （4） | ポペット | SUS316Lまたはハステロイ®C-22（オプション） |
| （5） | ばね | SUS316またはNi-Co合金（オプション） |
型番リスト
表示件数
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
140,952円 ( 155,047円 ) | 18日目 |
131,731円 ( 144,904円 ) | 18日目 |
132,424円119,181円 ( 131,099円 ) | 18日目 |
131,731円118,557円 ( 130,413円 ) | 18日目 |
131,731円118,557円 ( 130,413円 ) | 18日目 |
詳細情報
基本情報
メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用レギュレータです。
【特長】
・ガス圧力・流量の安定化に貢献します
・薬ガス供給設備向け機器 N2パージ関連機器 半導体業界
ご注意
- 商品画像は代表画像となります。形状や色味を含め、型番毎に仕様が異なる場合がございます。
プロセスガス用レギュレータ PGMシリーズのレビュー
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