メカニカル部品技術窓口
プロセスガス用 エアオペレイトバルブ。【特長】・メタルダイアフラムを採用したプ...
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| 項目 | AGD01R | AGD02R |
|---|---|---|
| 使用流体 | 不活性ガス・プロセスガス | |
| 使用圧力 Pa(abs)-MPa(G) | 1.3×10-6~0.99 | |
| 流体温度 ℃ | 5~80 | |
| 使用周囲温度 ℃ | 5~80 | |
| 保存周囲温度 ℃ | -10~80 | |
| 弁座漏れ Pa・m3/s(He) | 1.0×10-10以下 | |
| 外部漏れ Pa・m3/s(He) | 2.8×10-12以下 | |
| Cv値 (23℃、加圧下) | 0.1 | |
| 接続方式 | 1/4"JXRオス継手 1/4"JXRメス継手 | |
| 作動方式 | NC形(ノーマルクローズ) | NO形(ノーマルオープン) |
| 操作圧力 MPa | 0.4~0.6 | 0.4~0.5 |
| 操作ポート | M5 | |
| 質量 kg | 0.15 注1 | |
注1:AGD01R-4RM(1/4"JXRオス継手)の時の値です。
| 項目 | AGD1※R | AGD2※R |
|---|---|---|
| 使用流体 | 不活性ガス・プロセスガス | |
| 使用圧力 Pa(abs)-MPa(G) | 1.3×10-6~0.99 | |
| 流体温度 ℃ | 5~80 | |
| 使用周囲温度 ℃ | 5~80 | |
| 保存周囲温度 ℃ | -10~80 | |
| 弁座漏れ Pa・m3/s(He) | 1.0×10-10以下 | |
| 外部漏れ Pa・m3/s(He) | 2.8×10-12以下 | |
| Cv値 (23℃、加圧下) | 0.3 | 0.65 |
| 接続方式 | 1/4"JXRオス継手 1/4"JXRメス継手 1/4"二重くい込み継手 | 3/8"JXRオス継手 3/8"JXRメス継手 3/8"二重くい込み継手 |
| 作動方式 | NC形(ノーマルクローズ) NO形(ノーマルオープン) | NC形(ノーマルクローズ) NO形(ノーマルオープン) |
| 操作圧力 MPa | NC:0.4~0.6 NO:0.4~0.5 | NC:0.4~0.6 NO:0.4~0.5 |
| 操作ポート | M5 | |
| 質量 kg | 0.26 注1 | 0.59 注1 |
注1:AGD11R-4RM(1/4"JXRオス継手)、AGD21R-6RM(3/8"JXRオス継手)の時の値です。
| 品番 | 部品名称 | 材質 |
|---|---|---|
| (1) | ダイアフラム | Ni-Co合金 |
| (2) | 弁シート | PCTFE |
| (3) | ボディ | SUS316L |
| 品番 | 部品名称 | 材質 |
|---|---|---|
| (1) | ダイアフラム | Ni-Co合金 |
| (2) | 弁シート | PCTFE |
| (3) | ボディ | SUS316L |






※1:JXR継手はVCR継手と接続可能です。
※2:使用流体が仕様範囲内の不活性ガスで、流体中に反応生成物等の固形物を含まない場合の寿命です。

※1:JXR継手はVCR継手と接続可能です。
※2:使用流体が仕様範囲内の不活性ガスで、流体中に反応生成物等の固形物を含まない場合の寿命です。
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
33,013円 ( 36,314円 ) | 4日目 |
26,412円 ( 29,053円 ) | 24日目 |
33,012円 ( 36,313円 ) | 4日目 |
39,914円 ( 43,905円 ) | 4日目 |
29,037円 ( 31,941円 ) | 4日目 |
33,536円 ( 36,890円 ) | 4日目 |
39,889円 ( 43,878円 ) | 4日目 |
33,536円 ( 36,890円 ) | 4日目 |
51,010円 ( 56,111円 ) | 4日目 |
42,266円 ( 46,493円 ) | 4日目 |
49,981円 ( 54,979円 ) | 11日目 |
46,449円 ( 51,094円 ) | 4日目 |
38,512円 ( 42,363円 ) | 17日目 |
43,049円 ( 47,354円 ) | 4日目 |
プロセスガス用 エアオペレイトバルブ。
【特長】
・メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です
・薬ガス供給設備向け機器 薬液供給設備向け機器 半導体製造工程 N2パージ関連機器
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

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