磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGMシリーズ

超高真空用ターボ分子ポンプ。
磁気軸受け方式。取り付け姿勢自在。耐食処理有り。
・広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応しています
・大流量排気：大量のガスを流せます
・優れた耐久性：不意の大気導入に強い構造になっています
・回転数コントロール：回転数をコントロールでき、プロセスに応じた排気性能を実現できます
・オートキャリブレーション：電源投入時にセンサの自動調整を行います
・チューニングフリー：コントローラが接続されたポンプを認識し各制御パラメータを自動チューニングします。ケーブル交換を行った際のチューニング作業が不要となります
・メンテナンスコール：異常が発生する可能性が生じた時に、警告表示を行い、予防保全を促します
・様々な特殊仕様：ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
・分析、測定、成膜、加速器排気、半導体、FPD製造他