メカニカル部品技術窓口
※写真はイメージになり、ご選定の型番によって内容や形状が異なる場合がございます。
姿勢自在形ターボ分子ポンプ TGFシリーズ
販売終了
型番
TG50FCAB-TC64-MC3-TC-S2A-FC3-TC-S2
2022年07月に販売終了となりました。
推奨代替品はございません。
超高真空用ターボ分子ポンプ。
外乱に強く取り付け姿勢自在。
【特長】
・広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応しています
・大流量排気：大量のガスを流せます
・急速起動：立ち上がりが速く、待機時間が短くなります
・優れた耐久性：急な圧力上昇にも耐えます
・長時間使用可能：適切なオーバーホールをすることにより、長時間使用できます
【用途】
・半導体製造
・FPD（LCD、有機EL、他）製造
・各種電子部品製造
・管球製造、光学部品（レンズ、光学フィルター等）製造
・電子銃排気、イオン源排気、熱処理
・表面処理、表面改質
・分析、試験装置
・加速器、放射光施設、核融合研究
・研究開発用、他
ご注意
- 商品画像は代表画像となります。形状や色味を含め、型番毎に仕様が異なる場合がございます。
指定中の仕様・寸法情報
真空ポンプ種類
ターボ分子形
使用環境
標準
付加機能
なし
セット内容
標準セット（本体、パワーサプライ、モーターケーブル、ファンケーブル）
吸気口フランジ
CF：真空装置用ベーカブルフランジ
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