ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

【特長】
・ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。
・接ガス部には油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
・1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。
・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
・大気圧から作動が可能。
・シンプル構造で、メンテナンスが容易。
・バランスポートを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。
・組込型の専用モデルです。
【用途】
・吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
・分析機器、理化学機器。
・半導体検査装置。
・デバイス組立。
・自動機、包装機。