メカニカル部品技術窓口
ロードロックハッチ EDシリーズ
- 一部SALE 2026/01/31まで
- 通常単価(税別)
- 156,343円～168,555円特別価格
- 税込単価
- 171,977円～185,411円特別価格
真空システムにサンプルなどを導入するために使用するロードロックドアです。装置の...
詳細情報を確認する未確定：候補が2型番あります。
商品情報
外形図
製品仕様
- シール材質：フッ素ゴム（ハッチ、窓）
- 窓材質：テンパックス（標準品）
- 許容加熱温度：最大150 ℃
- リーク量：1.3×10-8 Pa・m3/s 以下
規格表
詳細情報
基本情報
真空システムにサンプルなどを導入するために使用するロードロックドアです。
装置の調整やサンプル導入で手・治具を入れることが容易に可能です。
【特長】
・フッ素ゴムシールにより高真空対応です。
・150℃までベーキング対応です。
・φ114～φ305CFに直接取り付けられます。
・各サイズ観測窓付きタイプと窓なしのブランクタイプがあります。
・オプションにより窓材は石英ガラスなどの選択が可能です。
・JISフランジや特殊フランジ形状の製作も可能です。
カタログ
ロードロックハッチ EDシリーズのレビュー
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