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高真空度クラス対応形スイッチ
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- 19,358円～19,688円
- 税込単価
- 21,294円～21,657円
10の-5乗Pa 高真空度クラス対応のコンタクトスイッチ。【特長】・低アウトガ...
詳細情報を確認するご注意
- こちらの対象品を使用する前に、必ず使用前注意事項を確認してください。
初期不良の疑いがある場合、原因と対策のご確認をお願いいたします。>>よくある故障内容と原因・対策含め、その他ご使用上の注意はこちら
商品情報
外形図
製品仕様
製品仕様
| 接点構造 | 接点形 |
|---|---|
| 動作形態 | A：NO/B：NC |
| 動作点の繰返し精度 | ON⇄OFFとも0.003mm（レンジ） |
| 対応真空度/ベーキング許容温度 | 10-5Pa/120℃ |
| 動作までの動き | 約0.3（A：NO）/なし（B：NO） |
| 応差 | 0 |
| 接点精度寿命 | 300万回 |
| ストローク | 1.5mm |
| 接触力 | 0.5N |
| 接点定格 | DC5V～DC24V 定常電流10mA以下(突入電流20mA以下) |
| 形式名 | 動作形態 | コード方向 |
|---|---|---|
| GN-PT5M3A | A：NO | ストレート |
| GN-PT5M3B | B：NC | |
| GN-PT5M3A-R | A：NO | 直角 |
| GN-PT5M3B-R | B：NC |
使用例
スマートフォン用ガラス基板のアライアメント
活用事例
真空チャンバー内での半導体ウェハーの有無検出
光電センサの場合はビューポートから検知をするが、蒸着時の曇りによって誤検知してしまう。
高真空度クラス対応形スイッチなら、真空環境でも検知可能に。
真空環境下での位置決めアプリケーション
半導体ウェハーの有無検出
ガラス基板の位置決め
ガラス基板の位置決め
ガラス基板のアライメント
マスクのトレイ着座検出
キャリアの原点出し
商品特長詳細
低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めコンタクトスイッチ
- 低アウトガス対応の材質・接着剤・コードを採用。
型番リスト
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
19,358円 ( 21,294円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
19,688円 ( 21,657円 ) | 26日目 |
19,358円 ( 21,294円 ) | 26日目 |
19,688円 ( 21,657円 ) | 26日目 |
詳細情報
基本情報
10の-5乗Pa 高真空度クラス対応のコンタクトスイッチ。
【特長】
・低アウトガス対応部品のみで製造した、高真空環境専用の位置決めスイッチ
【用途】
・真空チャンバーの半導体ウェハーの有無検出に
・真空成膜装置、太陽光発電（PV）真空装置のガラス基板の位置決めに
・FPD向け真空成膜装置のガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出しに
・大手半導体製造装置メーカーに続々採用
ご注意
- こちらの対象品を使用する前に、必ず使用前注意事項を確認してください。
初期不良の疑いがある場合、原因と対策のご確認をお願いいたします。>>よくある故障内容と原因・対策含め、その他ご使用上の注意はこちら
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