メカニカル部品技術窓口
真空部品回転式・直線状モーションフィードスルー
- 通常単価(税別)
- 81,883円～82,856円
- 税込単価
- 90,071円～91,142円
【特長】・16／25／40ISO-KF（NW）フランジのサイズから選択できる・...
詳細情報を確認する- 使用圧力（参考値） (Pa ～)
- 1.0×10-6
- ベーキング温度 (℃)
- 110
商品情報
この商品の特長
回転式 / 直線状モーションフィードスルー ISO-KFの外観
この商品の寸法図
FCH016-Hの寸法図
FCH025-Hの寸法図
FCH040-Hの寸法図
製品仕様
| タイプ | FCH016-H | FCH025-H | FCH040-H |
|---|---|---|---|
| 真空接続 | DN 16 ISO-KF | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF |
| フィードスルー/シール | FPM | FPM | FPM |
| シャフト接続 | M 3 / Ø5mm | M 4 / Ø8mm | M 6 / Ø12mm |
| 移動量 mm | 50 | 100 | 150 |
| シャフトロード | |||
| 最大移動量での半径方向力 N | 10 | 15 | 30 |
| ねじりトルク N•m | 2 | 8 | 20 |
| リーク量、静電気 mbar•L/s | 1 x 10-9 | 1 x 10-9 | 1 x 10-9 |
| 圧力(絶対圧力) | 1 x 10-8 mbar … 1bar | 1 x 10-8 mbar … 1bar | 1 x 10-8 mbar … 1bar |
| 使用温度 ℃ | 50 | 50 | 50 |
| ベークアウト温度 ℃ | 110 | 110 | 110 |
| 接ガス材料 | stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 | stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 | stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 |
| 重量 kg | 0.1 | 0.2 | 0.3 |
詳細情報
基本情報
【特長】
・16／25／40ISO-KF（NW）フランジのサイズから選択できる
・FPMシャフトシール付き。真空および高真空用途向けの標準部品
・ダイレクトプッシュ／プルとロータリーアクチュエーションができる
・ロッキングリングで直線モーションの固定ができる
・耐熱温度110℃までベーキング可能なワールドワイドで一般的な製品
・1×10の-10乗Pa・m3l/s未満のリークレートに対応するように設計、テストされている
【用途】
・手動で回転／直線モーションをするアプリケーションに最適
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