メカニカル部品技術窓口
※写真はイメージになり、ご選定の型番によって内容や形状が異なる場合がございます。
XYテーブル機構
販売終了
型番
TSL-114
2021年04月に販売終了となりました。
安定供給が困難な為、弊社取り扱いを中止致しました。お取り扱い不可品となります。
XYθ（シータ:角度）の位置調整のために使用する導入機。
【特長】
・ベローズ式シール機構。
・コンフラットフランジにCF70、114、152をラインナップ。
・XY方面調整のみでなく、角度調整機構付き。
・磁気結合式直進回転導入機（MLF）を取り付ける際の軸差及び角度調整ができる。
【用途】
・長尺で軸の撓みが多い物や精度を必要とするときに使用。
・真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適。
指定中の仕様・寸法情報
導入機種類
マルチ導入機
フランジ種類
CF/ICF
フランジサイズ（呼び）
114
使用圧力（参考値）(Pa ～)
1.0×10-5
ベーキング温度(℃)
150
駆動方法
手動
ヘリウムリーク量
1x10-9Pa･m3/s
仕様
調整範囲：XY方向±5mm