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タイプ
~mmCAD
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ベローズ式コンパクト直進導入機
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ILC-34-10の仕様・寸法情報
導入機種類
直線導入機
フランジ種類
CF/ICF
フランジサイズ（呼び）
34
直線導入機 ストローク(mm)
10
使用圧力（参考値）(Pa ～)
1.0×10-8
ベーキング温度(℃)
150
ヘリウムリーク量
1x10-10Pa･m3/s
-
-
商品情報
外形図
ベローズ式コンパクト直進導入機の寸法図
側面図
上面図
製品仕様
金属溶接ベローズを内蔵し、省スペース化を実現
| 型式 | ILC-34-10 | |
|---|---|---|
| ストローク | 10mm | |
| 接続フランジ | CF34 | |
| 駆動方法 | 手動 | |
| リーク量 | 1×10-10Pa・m3／s以下 | |
| ベーキング温度 | 250℃ | |
| 使用主材料 | SUS304 | |
| ベローズ材質 | SUS316L | |
| 主要寸法 | A | 96 |
| B | 146 | |
開発秘話
当社溶接ベローズを内蔵しコンパクト化を実現しました。
詳細情報
基本情報
非常にコンパクト（小型）な直進導入機。
【特長】
・CF34の接続口がある。
・金属溶接ベローズを内蔵し、省スペースを可能とする手動の真空直線（直進）タイプ。
・ストロークを10～200mmまで規格化。
・溶接ベローズを駆動部シールに採用し、超高真空の領域で使用できる。
・機能中心のシンプルな構成で、小型・軽量化し、ベーキング温度が250℃に耐える設計。
・真空内に設置したステージを大気側より調整する為の機構。
【用途】
・コンパクトな真空容器に利用可能。
カタログ
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ベローズ式コンパクト直進導入機の型番ILC-34-10のページです。
型番ILC-34-10に関する仕様情報を記載しております。
ベローズ式コンパクト直進導入機のレビュー
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よくあるご質問（FAQ）
Q精度はそれくらいですか？
A
1ｍｍ単位です。
Qストロークのカスタマイズは可能ですか？
A
個別設計により対応可能です。
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