ベローズ式コンパクト直進導入機

非常にコンパクト（小型）な直進導入機。
【特長】
・CF34の接続口がある。
・金属溶接ベローズを内蔵し、省スペースを可能とする手動の真空直線（直進）タイプ。
・ストロークを10～200mmまで規格化。
・溶接ベローズを駆動部シールに採用し、超高真空の領域で使用できる。
・機能中心のシンプルな構成で、小型・軽量化し、ベーキング温度が250℃に耐える設計。
・真空内に設置したステージを大気側より調整する為の機構。
【用途】
・コンパクトな真空容器に利用可能。