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ウエハキャリア着座センサ 【EE-SPY801/802】

  • 形状
    反射型
  • 検出距離 (mm)
    3
  • ヘッド最大 幅 (mm)
    32
  • ヘッド最大 高さ (mm)
    15
  • ヘッド最大 奥行き (mm)
    30
  • 検出方式
    反射形
  • 発光方式
    変調光(赤外光)
  • 動作モード
    ウエハキャリアがあるときにON
  • 出力形式
    NPNオープンコレクタ出力
  • 接続方式
    コード引き出しタイプ
  • 表示灯モード
    物体検出時点灯(橙色)
  • 標準検出物体 (mm)
    ウエハキャリア(透明体・不透明体)
  • コード・ケーブル仕様
    標準
  • コード・ケーブル長 (mm)
    2000
  • 保護構造
    IP30

ご注意

  • 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
    セールは規定数量に達し次第、予告無しに終了する恐れがあります。正しい単価は【価格を確認】を押下し、ご確認ください。
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数量:

商品情報

外形図

ウエハキャリア着座センサ 【EE-SPY801/802】 外形図1

EE-SPY801

ウエハキャリア着座センサ 【EE-SPY801/802】 外形図2

EE-SPY802

製品仕様

定格/性能

項目/型番EE-SPY801/802
検出距離(標準検出物体)0~5mm(反射率90% 白色紙15×15mm2
0~3mm(反射率10% 黒色紙15×15mm2
検出物体ウエハキャリア(透明体・不透明体)
動作表示灯物体検出時点灯(橙色)
光源(ピーク発光波長)GaAs赤外発光ダイオード(940nm)
電源電圧DC12~24V±10% リップル(p-p)5%以下
消費電流30mA以下
制御出力NPNオープンコレクタ出力、DC5~24V、100mA以下、オフ電流0.5mA以下
残留電圧:0.8V以下(負荷電流100mA時)
残留電圧:0.4V以下(負荷電流40mA時)
応答時間5ms以下
使用周囲照度受光面照度 白熱ランプ・太陽光:各3,000lx以下
周囲温度範囲動作時:-10~+55℃、保存時:-25~+65℃(ただし、氷結しないこと)
周囲湿度範囲動作時:5~85%RH、保存時:5~95%RH(ただし、結露しないこと)
振動(耐久)1~500Hz 片振幅1.0mmまたは150m/s2 X、Y、Z各方向 3掃引、11min/掃引
衝撃(耐久)500m/s2  X、Y、Z各方向 3回
保護構造IEC規格 IP30
接続方式コード引き出しタイプ(標準コード長2m)
質量(梱包状態)本体(センサ):約43g、アクセサリ(ガイド):約9g
材質ケーステトラフルオロエチレン-エチレン共重合体(ETFE)
底板ポリブチレンテレフタレート
付属品取扱説明書
ウエハキャリア着座センサ 【EE-SPY801/802】 仕様

赤枠:赤外光

使用例

標準的なご使用方法

このセンサは、ウエハキャリア専用の着座センサです。ウエハキャリアの底部は下図のように脚部がリブ形状で形成されています。本着座センサはこの脚部を反射形光センサで検出するものです。
ご使用においては、下図の○印の4つのコーナー部にセンサ(またはガイド)を設置してください。
ウエハキャリア着座センサ 【EE-SPY801/802】 使用例1
ウエハキャリア着座センサ 【EE-SPY801/802】 使用例2

注意・禁止事項

注意・禁止事項

安全を確保する目的で直接的または間接的に人体を検出する用途に本製品は使用できません。
人体保護用の検出装置として本製品を使用しないでください。

使用上の注意

定格を超える周囲雰囲気・環境では使用しないでください。

配線時

コードを延長される場合は、導体断面積0.15mm2(AWG26相当)以上の線を用い5m以内としてください。
5mを超える配線の場合は、センサから5m以内の電源ラインに10μF程度のコンデンサを入れた配線をしてください。

取りつけ時

センサの取りつけは、ソリのない取りつけ部に確実に取りつけてください。ねじの締めつけ強度は0.30N・m以下としてください。
(ねじの緩み防止のためバネ座金を合わせてお使いいただくことを推奨いたします。)

調整時

電源投入後、動作が安定するまで10ms程度が必要です。
負荷とセンサが別電源に接続されている場合は、必ずセンサの電源を先に投入してください。

使用環境

塩化水素ガスなどの腐蝕性ガスおよび潮風が製品にあたるところでは、使用しないでください。

型番リスト

表示件数
最小発注数量
1個
1個
通常単価(税別) (税込単価)
通常出荷日
8,996
( 9,896 )
在庫品1日目当日出荷可能
8,683
( 9,551 )
1日目

詳細情報

基本情報

ウエハキャリアの着座検知。
【特長】
・ガイドとの併用で着座位置を設定。
・ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れたふっ素樹脂を使用。
・独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで安定して検知。
・外乱光に強い変調光方式。
・コードはクリーンコード(タルク粉なし)を使用。

ご注意

  • 掲載商品の内、一部商品はセール価格で販売しています。対象商品は型番リストよりご確認ください。
    セールは規定数量に達し次第、予告無しに終了する恐れがあります。正しい単価は【価格を確認】を押下し、ご確認ください。
  • 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。

ウエハキャリア着座センサ 【EE-SPY801/802】のレビュー
4平均満足度:4.01件のレビュー
着座検知
4
満足度:4.0
ウエハキャリアの着座検知に使用しています。 センサー性能は申し分ないくらいの検知力です。
0人が参考にしています。

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メーカーオムロンオムロンオムロンオムロンオムロンオムロン
通常価格8,683-448 -320 -3,397 -3,240 -1,524
通常出荷日在庫品1日目〜在庫品1日目〜1日目在庫品1日目在庫品1日目〜1日目
形状反射型T型L型反射型反射型反射型
検出距離(mm)33.4510005-
ヘッド最大 幅(mm)321913.625.42626
ヘッド最大 高さ(mm)1515.114.78.6-8.4
ヘッド最大 奥行き(mm)3010.214.827813
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