メカニカル部品技術窓口
【特長】・「KD」シリーズは、コンパクトデザインのダイレクトダイヤフラムバルブ...
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KD4MS-VC/KD8MS-VC

KD4MS-VFC

KD6MS-SC
| サイズ | KD4(1/4") | KD8(1/2") | ||
|---|---|---|---|---|
| Cv値 | 0.27 | 0.7 | ||
| 使用最高圧力 | 0.98MPa(G) | |||
| 接ガス部内容積 | 1.36cm3 | 7.3cm3 | ||
| ストレート弁、CVCオス、OPEN状態 | ||||
| 使用流体温度範囲 | PCTFE | -10~+80℃ | ||
| 環境温度範囲 | -10~+60℃ | |||
| 検査リーク量 | 内部リーク | PCTFE | 1×10-10Pa・m3/sec以下 | |
| 外部リーク | 1×10-10Pa・m3/sec以下 | |||
| 操作圧力(自動弁) | 0.4~0.7MPa(G) | |||
| 作動耐久性※ | 手動弁 | 10万回 | ||
| 自動弁 | 400万回 | |||
※キッツSCT試験実績〔試験条件〕シート:PCTFE、流体:N2、封入圧:0.98MPa
| グレード | STD | EP |
|---|---|---|
| ボディ材質 | SUS316L | |
| 内面粗度 | Rz3.2μm以下 | Rz0.7μm以下 |
| 研磨 | 機械研磨仕上げ | 電解研磨仕上げ |
| 洗浄 | 脱脂洗浄+精密洗浄 + 精密洗浄 | |
| 洗浄以降の環境 | Class10(一部の製品はClass100) | |
| 梱包 | 1重 | 2重 |

※L1寸法は食込み継手のチューブ差込寸法になります。
(1)キッツSCTバルブは、一般的な大気圧雰囲気で使用するバルブであり、真空容器内にバルブを設置しての使用はできません。
(2)バルブを加熱して使用する場合、エアー継手やチューブは使用温度に耐えることができる適切な材質を選定ください。
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
40,270円 ( 44,297円 ) | 19日目 |
51,582円 ( 56,740円 ) | 11日目 |
57,329円 ( 63,062円 ) | 11日目 |
59,782円53,803円 ( 59,183円 ) | 11日目 |
【特長】
・「KD」シリーズは、コンパクトデザインのダイレクトダイヤフラムバルブとして、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです
・ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.2cm(1/4"CVCオスOpen時)まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現しています
・独自の接ガス部シール構造により高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求しました
・厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現しました
・最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及しました
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

ミスミ
ボールバルブ レデューストボアタイプ
4.3通常価格(税別):1,430円~

ミスミ
グローブバルブ
4.7通常価格(税別):5,870円~

キッツ
黄銅/青銅製汎用400/600型ボールバルブねじ込み(レバー)
4.7通常価格(税別):2,220円~

キッツ
ステンレス鋼製汎用600型ボールバルブねじ込み
4.8通常価格(税別):2,663円~

ミスミ
小型ボールバルブ ストレートタイプ PTオス・PFメス
4.6通常価格(税別):1,140円~

ミスミ
ボールバルブ フルボア(大流量)タイプ
4.8通常価格(税別):2,670円~

キッツ
青銅製汎用100型グローブバルブねじ込み
4.7通常価格(税別):2,422円~

キッツ
黄銅製汎用600型ボールバルブねじ込み(蝶形ハンドル)
4.6通常価格(税別):2,152円~

ミスミ
小型ボールバルブ ストレートタイプ PTメス・PTメス
4.5通常価格(税別):1,320円~