G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1&ISG1 Package

大気圧から5×10^-2Paまでの広領域測定が可能な大気圧ピラニ真空計、SW1＆ISG1パッケージです！
フィラメント材料には耐食性に富んだ白金線を用い、各種真空装置に対応可能です。
【特長】
・広領域測定：大気圧から5×10^-2Paまでに広領域の測定が可能。
・電源電圧：DC24VまたはAC100〜240Vで作動可能。
・視認性の向上：センサユニットに異常を確認できるLEDを搭載。
・ワンタッチ調整が可能：大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能。
・メンテナンス性：測定子をお客様にて簡単に交換可能。
・フィラメント材質・白金（Pt）：フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用。
・測定値出力信号：圧力はDC0〜10VのLog出力の標準装備。
・耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設計構造。
・制御出力信号：セットポイント3点の出力可能。
・シリアル通信仕様：RS-485通信が標準装備。
・ディスプレイユニット：表示部は見やすいLED。
・適合規格：CE標準対応。
【用途】
・太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製。
・造装置の低真空領域のプロセス制御用に。
・炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に。
・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に。