G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1

大気圧から5×10_-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。
さらにこの真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。
【特長】
・広領域測定：大気圧から5×10_-2Paまでの広領域の測定が可能。
・省配線：センサとコントローラ一体化により省配線、省スペース、省電力を実現。
・視認性の向上：異常を確認できるLEDを搭載。
・ワンタッチ調整が可能：大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能。
・メンテナンス性：測定子の交換が容易。
・フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用。
・測定値出力信号：圧力はDC0〜10VのLog出力の標準装備。
・耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設計構造。
・制御出力信号：セットポイント2点の出力可能。
・適合規格：CE標準対応。
【用途】
・太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製装置の低真空領域のプロセス制御用に。
・炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に。
・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に。