メカニカル部品技術窓口
ステンレス鋼製 16.2MPa 空気圧シリンダー式 高圧ベローズバルブ
- 通常単価(税別)
- 73,762円
- 税込単価
- 81,138円
【特長】・空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の...
詳細情報を確認する- 使用環境
- 標準
- ボディ材質
- SUS316L
- 最高使用圧力 (MPa)
- 16.2
- 作動圧力 (MPa)
- 0.39～0.59
- 操作圧接続ポート
- Rc1/8
ご注意
- 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
FP-UBF-716-6.35-2の仕様・寸法情報
商品情報
外形図
図1
図2
図3
製品仕様
仕様・材質
| 呼び径 | 最高使用圧力 | 使用流体温度範囲 | MAX Cv値 | 作動圧力 | 操作圧接続ポート | 接続継手 | 空気圧シリンダー作動方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 6.35 | 16.2MPa | -10～+80℃ | 0.3 | 0.39～0.59MPa | Rc1/8 | F900 UJR 自動溶接用継手 | ノーマルクローズ（N.C） ノーマルオープン（N.O） |
| 9.52 |
- 実績リーク量
外部リーク：5×10-12Pa・m3/sec以下
弁座リーク：5×10-12Pa・m3/sec以下 - 検査時リーク量
外部リーク：5×10-10Pa・m3/sec以下
弁座リーク：5×10-10Pa・m3/sec以下 - 全てHeリークチェック済みです。
- 優れた耐久性 10万回以上（実験値）
| 部品名 | 材質 |
|---|---|
| ボディ | SUS316L |
| ベローズ | インコネル718 |
| ディスクパッキン | PCTFE |
| ガスケット | NW2201（ニッケル） |
| アクチュエータ | A5056 |
規格表
（ ）はN.C.の寸法です。
詳細情報
基本情報
【特長】
・空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです
・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成し、また高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です
ご注意
- 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
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