ウェーハマッピングセンサ （M-DW1）

安全なLED光を採用した反射型ウェーハマッピングセンサ。
【特長】
・安全性に優れたLED式。
 レーザ光を使用した従来のレーザ式マッピングセンサは、レーザ光がロードボートの内側からFOUPを抜けてオペレータに当たるため危険でした。
 M-DW1は、LEDを光源に使用することに成功。
 これによりオペレータの安全性を確保しています。
・窒化膜ウェーハの検出が可能。
 窒化膜は特定波長の光を吸収する性質があり、吸収される波長は窒化膜の膜厚などによって変化します。
 そのため単波長のレーザ光を使用したセンサでは、光がすべて吸収されて検出不可能になる場合があります。
 これに対して、LED光源には光の波長帯に幅があるため、窒化膜ウェーハでも確実に検出できます。
・0.5msの高速応答。
 0.5msの高速応答を実現。
 高速応答性と高精度を高次元で両立しています。
・ガラスウェーハの検出も可能。
 M-DW1は、反射光の位置で検出するため、反射光量が多い少ないに関わらずガラスウェーハの検出が可能です。
・2分割受光素子による高精度位置検出。
 反射光量による検出では、反射光量やウェーハのエッジ形状により検出に影響が出ます。
 MｰDW1は受光部に2分割受光素子を採用し、反射光量ではなく反射光の位置で検出。
 このためウェーハの厚みや反射光量の影響を受けにくい設計となっています。
・アンプ内蔵の小型・軽量タイプ。
 サイズは幅80.6mm×厚さ18.3mm×奥行き50mm、質量は約75gの小型・軽量タイプ。