LED式ウェーハアライメントセンサ (HD-T1)

商品特長詳細

安全なLED光で高精度検出30μmを実現

CE を取得しています。
CE : EMC指令

安全方策一切不要

ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズの光源には安全な赤色LEDを採用していますので、煩わしい安全方策が一切不要。レーザ光使用の際に必要な保護カバーや米国で使用する際に必要なFDA規則の取得も必要ありません。

省施工

センサヘッドとコントローラとの接続はワンタッチコネクタ式。配線の工数が最小限で済み、メンテナンスもラクです。

低消費電流70mA以下

消費電流は、センサヘッドとコントローラ合わせて70mA以下。光電センサ並みの低消費電力を実現しています。

高分解能30μm

ウェーハアライメントセンサHD-T1シリーズは、赤色LED光源でありながらレーザセンサ並みの高性能を実現しましたので、高精度な検出が可能です。

光軸調整不要

投・受光部一体型ですから、面倒な光軸調整は不要です。また、検出距離および検出幅が30mmと広いエリアをカバーできますのでさまざまなサイズのウェーハに対応できます。

スパンおよびシフト調整機能を装備

アナログ出力（1～5V）には、スパン調整機能に加えてアナログ電圧を±0.5Vの範囲でシフトできる便利なシフト調整機能を装備しました。

使用例

 

外形図

製品仕様

センサヘッド

（注1）：指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。
（注2）：出荷時、取付ベースに固定された状態での値です。

コントローラ

（注1）：指定のない測定条件は、使用周囲温度=+20℃です。
（注2）：分解能とは、アナログ出力のピークtoピーク距離換算値（20MHz以下帯域にて）です。
（注3）：センサヘッドとコントローラを組み合わせた状態で測定したときの代表例です。