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小型Z軸ラックピニオンステージ TAR
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TAR-2550Zの仕様・寸法情報
ステージ面
垂直
送り方式
ラック&ピニオン
移動ガイド
アリ溝
移動量（範囲）(mm)
～±10.0
耐荷重（範囲）(N)
5.1～30.0
テーブル長さ（範囲）(mm)
41～60
テーブル幅（範囲）(mm)
～25
テーブル材質
[黄銅] 真鍮
テーブルサイズ(長さ) L(mm)
50
テーブルサイズ(幅) W(mm)
25
耐荷重(N)
9.8
ストローク(Z距離)(mm)
±10
テーブルサイズ(厚み) H(mm)
18
透過穴(テーブルセンタ穴)
あり
テーブル真直度(μm)
30
送りツマミ位置
全軸サイド
クランプ
クランプレバー
勝手違い
標準
テーブル表面処理
低温黒色クロムメッキ
送り方式（ラック＆ピニオン種類）
標準
商品情報
小型Z軸ラックピニオンステージ TAR-Zの仕様について
TAR-Zの外観
TAR-Zの形状図
寸法
（単位：mm）
| 品番 | ステージ面 | 移動ガイド | 移動量 | ストローク （mm/Rotation） |
質量 （g） |
真直度 | 直角度 | 表示分解能 | 位置分解能 | 耐荷重 （N） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TAR-2550Z | 25×50 | アリ溝方式 | ±10 | 20 | 300 | 0.03 | 0.05 | 0.1 | 0.1 | 9.8 |
- ※ 取りつけ用の六角穴付きボルト（M3×10、M4×10）が付属しています。
材質・仕上げ
| - | TAR-Z |
|---|---|
| ステージ | 真鍮 黒色クロムメッキ |
| 本体 | 真鍮 塗装（シルバー） |
| 下面スペーサ | アルミニウム合金 アルマイト処理（黒） |
詳細情報
基本情報
小型Z軸ラックピニオンステージです。
【特長】
・垂直ステージ面のZ軸ステージです。
・ラック＆ピニオン方式により素早い送りができます。
・移動ガイドはアリ溝方式を採用します。
・がたつきを補正する機能をもっています。
【用途】
・半導体製造装置、電子顕微鏡。
カタログ
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