メカニカル部品技術窓口
X軸ラックピニオンステージ TAR
- 通常単価(税別)
- 35,770円～37,262円
- 税込単価
- 39,347円～40,988円
X軸を手動で精密位置決めステージです。【特長】・ラック＆ピニオン方式により素早...
詳細情報を確認する- 種類
- 本体
- 送り方式
- ラック&ピニオン
- 移動ガイド
- アリ溝
- 移動量（範囲） (mm)
- ±10.1～30.0
- 耐荷重（範囲） (N)
- 50.1～100.0
- テーブル幅（範囲） (mm)
- 26～40
- 高さ（範囲） (mm)
- 30.1～35.0
- テーブル材質
- 真鍮
- テーブルサイズ(幅) W (mm)
- 34
- テーブルサイズ(厚み) H (mm)
- 35
- テーブル平行度 (μm)
- 60
- 送りツマミ位置
- 全軸サイド
- クランプ
- クランプレバー
- 勝手違い
- 標準
- 透過穴(テーブルセンタ穴)
- なし
- テーブル表面処理
- 低温黒色クロムメッキ
- 送り方式（ラック＆ピニオン種類）
- 標準
未確定：候補が2型番あります。
商品情報
製品仕様
TAR80の外観
TAR60の形状図
TAR80の形状図
寸法
（単位：mm）
| 品番 | ステージ面 | 移動ガイド | 移動量 | ストローク （mm/Rotation） |
質量 （g） |
真直度 | 平行度 | 表示分解能 | 位置分解能 | 耐荷重 （N） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TAR-60 | 34×60 | アリ溝方式 | ±15 | 20 | 500 | 0.02 | 0.06 | 0.1 | 0.1 | 147 |
| TAR-80 | 34×80 | アリ溝方式 | ±25 | 20 | 800 | 0.03 | 0.06 | 0.1 | 0.1 | 196 |
材質・仕上げ
| - | TAR |
|---|---|
| ステージ | 真鍮 黒色クロムメッキ |
| 本体 | 真鍮 塗装（シルバー） |
| 下面スペーサ | アルミニウム合金 アルマイト処理（黒） |
詳細情報
基本情報
X軸を手動で精密位置決めステージです。
【特長】
・ラック＆ピニオン方式により素早い送りができます。
・移動ガイドはアリ溝方式を採用します。
・がたつきを補正する機能をもっています。
【用途】
・半導体製造装置、電子顕微鏡。
カタログ
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X軸ラックピニオンステージ TARのレビュー
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