メカニカル部品技術窓口
小形流量コントローラ・ラピフローFCMシリーズ。【特長】・適応流体は、空気、窒...
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| 項目 | FCM-[*1][*2]-[*3][*4][*5] | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| バルブ駆動方式 | 比例ソレノイドバルブ 非通電時:閉 | |||||||||
| フルスケール流量 | AI (空気, 窒素) | AR (アルゴン) | O2 (酸素) | LN (都市ガス) | C1 (メタン) | C3 (プロパン) | ||||
| 流量レンジ 注1 | *1 | 標準モデル | 9500 | 500mL/min | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
| 0001 | 1L/min | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 0002 | 2L/min | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 0005 | 5L/min | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 0010 | 10L/min | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 0020 | 20L/min | ● | ● | - | - | - | - | |||
| 0050 | 50L/min | ● | ● | - | - | - | - | |||
| 0100 | 100L/min (樹脂タイプのみ) | ● | - | - | - | - | - | |||
| 低差圧モデル (ステンレス のみ) | L9500 | 500mL/min | ● | - | ● | ● | ● | ● | ||
| L0001 | 1L/min | ● | - | ● | ● | ● | ● | |||
| L0002 | 2L/min | ● | - | ● | ● | ● | ● | |||
| L0005 | 5L/min | ● | - | ● | ● | ● | ● | |||
| L0010 | 10L/min | ● | - | ● | ● | ● | ● | |||
| 適応流体 注2 | *2 | AI | 圧縮空気、窒素 | ● | - | - | - | - | - | |
| AR | アルゴン | - | ● | - | - | - | - | |||
| O2 | 酸素(禁油仕様) | - | - | ● | - | - | - | |||
| LN | 都市ガス(13A) 注3 | - | - | - | ● | - | - | |||
| C1 | メタン(CH4 100%) | - | - | - | - | ● | - | |||
| C3 | プロパン(C3H8 100%) | - | - | - | - | - | ● | |||
| 接続口径、 ボディ材質 | *3 | H6 | φ6ワンタッチ、樹脂 (50,100L/minは除く) | ● | - | - | - | - | - | |
| H8 | φ8ワンタッチ、樹脂 | ● | - | - | - | - | - | |||
| 8A | Rc1/4、ステンレス | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| UF | 9/16-18UNF、 ステンレス | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| 制御 | 精度保証範囲 | 3~100%F.S. | ||||||||
| 応答時間 | *1 | 9500~0020、L9500~L0010 | 設定±5%F.S.に0.5sec以内(TYP.) | |||||||
| 0050~0100 | 設定±5%F.S.に1sec以内(TYP.) | |||||||||
| 精度 | ±3%F.S.以内 | |||||||||
| くり返し性 | ±1%F.S.以内 | |||||||||
| 温度特性 | ±0.2%F.S./℃以内(25℃基準) | |||||||||
| 圧力特性 | 98kPaあたり±1%F.S.以内(標準差圧基準) | |||||||||
| 圧力 | 標準差圧 注4 | 別表参照 | ||||||||
| 動作差圧範囲 注5 | 別表参照 | |||||||||
| 最高使用圧力 注5 | 別表参照 | |||||||||
| 耐圧力 | *3 | H6/H8(樹脂ボディ) | 490kPa | |||||||
| 8A/UF(SUSボディ) | 980kPa | |||||||||
| 使用周囲温度、湿度 | 0~50℃、90%RH以下(結露なきこと) | |||||||||
| 入出力 | 入力信号/ プリセット 入力 | *4 | 0 | 0-10VDC(6.7kΩ)/4点(2bit) | ||||||
| 1 | 0-5VDC(10kΩ)/4点(2bit) | |||||||||
| 2 | 4-20mADC(250Ω)/4点(2bit) | |||||||||
| P | パラレル10bit/なし | |||||||||
| 出力信号 | *5 | AN | アナログ出力:1-5V(接続負荷インピーダンス500kΩ以上) エラー出力:NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 | |||||||
| AP | アナログ出力:1-5V(接続負荷インピーダンス500kΩ以上) エラー出力:PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 | |||||||||
| SN | スイッチ出力:NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 エラー出力:NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 | |||||||||
| SP | スイッチ出力:PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 エラー出力:PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 | |||||||||
| 流量表示 | 表示方法 | 7セグメントLED 3桁、表示精度:制御精度±1digit | ||||||||
| 表示範囲、表示分解能 | 別表参照 | |||||||||
| 積算機能 | 別表参照 | |||||||||
| 電源 | 電源電圧 | DC24V±10%(リップル率2%以下の安定化電源) | ||||||||
| 消費電流 注11 | 250mA以下 | |||||||||
| 取付姿勢 | 縦・横自在 | |||||||||
| 接ガス部材 | *3 | H6/H8(樹脂ボディ) | ポリアミド樹脂、フッ素ゴム、ステンレス、アルミナ、半導体シリコン、半田 | |||||||
| 8A/UF(SUSボディ) | ステンレス、フッ素ゴム、アルミナ、半導体シリコン、半田 | |||||||||
| 質量 | *3 | H6/H8(樹脂ボディ) | 約200g | |||||||
| 8A/UF(SUSボディ) | 約480g | |||||||||
| 保護構造 | IEC規格 IP40相当 | |||||||||
| 保護回路 注6 | 電源逆接保護、スイッチ出力逆接保護、スイッチ出力負荷短絡保護 | |||||||||
| EMC指令 | EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 | |||||||||
圧力:標準差圧、動作差圧 注4、5 (標準モデル)
| 流量範囲 *1 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 9500 | 0001 | 0002 | 0005 | 0010 | 0020 | 0050 | 0100 | |||
| 適応流体 *2 | AI | 標準差圧(kPa) | 50 | 100 | 100 | 100 | 100 | 150 | 200 | 300 |
| 動作差圧(kPa) | 20~150 | 50~200 | 50~250 | 50~250 | 50~250 | 100~300 | 150~300 | 250~350 | ||
| 最高使用圧力(kPa) | 150 | 200 | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 | 350 | ||
| AR | 標準差圧(kPa) | 50 | 100 | 100 | 100 | 100 | 150 | 200 | - | |
| 動作差圧(kPa) | 20~150 | 50~200 | 50~250 | 50~250 | 50~250 | 100~300 | 150~300 | - | ||
| 最高使用圧力(kPa) | 150 | 200 | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 | - | ||
| O2 | 標準差圧(kPa) | 50 | 100 | 100 | 100 | 100 | - | - | - | |
| 動作差圧(kPa) | 20~150 | 50~200 | 50~250 | 50~250 | 50~250 | - | - | - | ||
| 最高使用圧力(kPa) | 150 | 200 | 250 | 250 | 250 | - | - | - | ||
| LN/C1 | 標準差圧(kPa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | - | - | - | |
| 動作差圧(kPa) | 20~150 | 20~150 | 20~150 | 20~150 | 30~150 | - | - | - | ||
| 最高使用圧力(kPa) | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | - | - | - | ||
| C3 | 標準差圧(kPa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | - | - | - | |
| 動作差圧(kPa) | 20~150 | 20~150 | 20~150 | 20~150 | 30~150 | - | - | - | ||
| 最高使用圧力(kPa) | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | - | - | - | ||
圧力:標準差圧、動作差圧 注4、5 (低差圧モデル)
| 流量範囲 *1 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L9500 | L0001 | L0002 | L0005 | L0010 | |||
| 適応流体 *2 | AI/O2 LN/C1 C3 注7 | 標準差圧(kPa) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| 動作差圧(kPa) | 5~50 | 5~50 | 5~50 | 5~50 | 10~50 | ||
| 最高使用圧力(kPa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | ||
表示、積算機能
| 流量範囲 *1 | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 9500 L9500 | 0001 L0001 | 0002 L0002 | 0005 L0005 | 0010 L0010 | 0020 | 0050 | 0100 | ||
| 流量表示 | 表示範囲 | 0~500 mL/min | 0.00~1.00 L/min | 0.00~2.00 L/min | 0.00~5.00 L/min | 0.0~10.0 L/min | 0.0~20.0 L/min | 0.0~50.0 L/min | 0~100 L/min |
| 表示分解能 | 1mL/min | 0.01L/min | 0.01L/min | 0.01L/min | 0.1L/min | 0.1L/min | 0.1L/min | 1L/min | |
| 積算機能 注10 | 表示範囲 | 999999mL | 9999.99L | 9999.99L | 9999.99L | 99999.9L | 99999.9L | 99999.9L | 999999L |
| 表示分解能 | 1mL | 0.01L | 0.01L | 0.01L | 0.1L | 0.1L | 0.1L | 1L | |
| パルス出力レート | 5mL | 0.01L | 0.02L | 0.05L | 0.1L | 0.2L | 0.5L | 1L | |
注1: 標準状態(20℃ 1気圧(101kPa)相対湿度65%)での体積流量に換算。又、フルスケールとは流量レンジの最大流量を指します。
注2: 塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。
圧縮空気をご使用の場合は、JIS B8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1~1:6:2]の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気には、
ドレン(水、酸化オイル、異物等)が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側(上流)にフィルタ、エアドライヤ
(最低圧力露点10℃以下)及びオイルミストフィルタ(最大油分濃度0.1mg/m3)を取付けてご使用ください。
<推奨回路>

<推奨機器>
エアフィルタ:Fシリーズ
オイルミストフィルタ:Mシリーズ
注3: 都市ガス13AはLNGから生成されたメタン(CH4)88%ガスに対しての値です。
注4: 標準差圧は、本製品校正時の差圧です。(2次側大気開放)
注5: 動作差圧は、本製品が正常に動作するために必要な差圧です。流量レンジ、適応流体によって異なりますのでご注意ください。
動作差圧の最小値は、2次側大気開放においてフルスケール流量を流すのに必要な差圧です。
最高使用圧力(動作差圧の最大値)は、一次側圧力の最大値です。これ以上の圧力がかかった場合、制御が不安定になったり、最大流量が制御できなくなります。
注6: 本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注7: 都市ガスの低圧ライン(1~2.5kPa)では動作差圧範囲外となります。
注8: 本製品内部の弁は漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。
注9: アナログ出力電圧の出力インピーダンスは約1KΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。
接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
注10:積算流量は参考値です。また、電源を切るとリセットされます。
注11:DC24V時、負荷未接続、フルスケール流量時の電流です。負荷の状態によっては消費電流が変わりますのでご注意ください。
| 項目 | FCM-[*1][*2]-[*3][*4][*5] | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| バルブ駆動方式 | 比例ソレノイドバルブ 非通電時:閉 | ||||
| フルスケール流量 | H2(水素) | HE(ヘリウム) | |||
| 流量レンジ 注1 | *1 | 0002 | 2L/min | ● | ● |
| 0005 | 5L/min | ● | ● | ||
| 0010 | 10L/min | ● | ● | ||
| 0020 | 20L/min | ● | ● | ||
| 適応流体 注2 | *2 | H2 | 水素 | ● | - |
| HE | ヘリウム | - | ● | ||
| 接続口径 | *3 | 8A | Rc1/4 | ● | ● |
| UF | 9/16-18UNF | ● | ● | ||
| 4S | 1/4インチ 2重くい込み継ぎ手 | ● | ● | ||
| 4RM | 1/4インチ JXRオス継手 | ● | ● | ||
| 制御 | 精度保証範囲 | 3~100%F.S. | |||
| 応答時間 | ※1 | 設定±5%F.S.に0.5sec以内(TYP.) | |||
| 精度 | ±3%F.S.以内 | ||||
| くり返し性 | ±1%F.S.以内 | ||||
| 温度特性 | ±0.2%F.S./℃以内(25℃基準) | ||||
| 圧力特性 | 98kPaあたり±1%F.S.以内(標準差圧基準) | ||||
| 圧力 | 標準差圧 注3 | 別表参照 | |||
| 動作差圧範囲 注4 | 別表参照 | ||||
| 最高使用圧力 注4 | 別表参照 | ||||
| 耐圧力 | 980kPa | ||||
| 使用周囲温度、湿度 | 0~50℃、90%RH以下(結露無きこと) | ||||
| 外部漏れ | 1×10-6 Pa・m3/s 以下(ヘリウムリークレート) | ||||
| 入出力 | 入力信号/ プリセット入力 | *4 | 0 | 0-10VDC(6.7kΩ)/4点(2bit) | |
| 1 | 0-5VDC(10kΩ)/4点(2bit) | ||||
| 2 | 4-20mADC(250Ω)/4点(2bit) | ||||
| P | パラレル10bit/なし | ||||
| 出力信号 | *5 | AN | アナログ出力:1-5V(接続負荷インピーダンス500kΩ以上) エラー出力:NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 | ||
| AP | アナログ出力:1-5V(接続負荷インピーダンス500kΩ以上) エラー出力:PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 | ||||
| SN | スイッチ出力:NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 エラー出力:NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 | ||||
| SP | スイッチ出力:PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 エラー出力:PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 | ||||
| 流量表示 | 表示方法 | 7セグメントLED 3桁、表示制度:制御精度±1digit | |||
| 表示範囲、表示分可能 | 別表参照 | ||||
| 積算機能 | 別表参照 | ||||
| 電源 | 電源電圧 | DC24V±10%(リップル率1%以下の安定化電源) | |||
| 消費電流 注9 | 270mA以下 | ||||
| 取付姿勢 | 縦・横自在 | ||||
| 接ガス部材 | ステンレス、フッ素ゴム、アルミナ、半導体シリコン、半田 | ||||
| 質量 | *3 | 8A/UF | 約480g | ||
| 4S/4RM | 約560g | ||||
| 保護構造 | IEC規格 IP40相当 | ||||
| 保護回路 注5 | 電源逆接保護、スイッチ出力逆接保護、スイッチ出力負荷短絡保護 | ||||
| EMC指令 | EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 | ||||
圧力:標準差圧、動作差圧
| 流量範囲 *1 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0002 | 0005 | 0010 | 0020 | |||
| 適応流体*2 | H2 | 標準差圧(kPa) | 20 | 50 | 50 | 50 |
| 動作差圧(kPa) | 10~50 | 30~80 | 30~80 | 30~80 | ||
| 最高使用圧力(kPa) | 50 | 80 | 80 | 80 | ||
| HE | 標準差圧(kPa) | 50 | 100 | 100 | 100 | |
| 動作差圧(kPa) | 20~100 | 50~150 | 50~150 | 50~150 | ||
| 最高使用圧力(kPa) | 100 | 150 | 150 | 150 | ||
表示、積算機能
| 流量範囲 *1 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 0002 | 0005 | 0010 | 0020 | ||
| 流量表示 | 表示範囲 | 0.00~2.00L/min | 0.00~5.00L/min | 0.0~10.0L/min | 0.0~20.0L/min |
| 表示分解能 | 0.01L/min | 0.01L/min | 0.1L/min | 0.1L/min | |
| 積算機能 注8 | 表示範囲 | 9999.99L | 9999.99L | 99999.9L | 99999.9L |
| 表示分解能 | 0.01L | 0.01L | 0.1L | 0.1L | |
| パルス出力レート | 0.02L | 0.05L | 0.1L | 0.2L | |
注1:20℃ 1気圧(101kPa)での体積流量に換算。又、フルスケールとは流量レンジの最大流量を示します。
注2:塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。
注3:標準差圧は、本製品校正時の差圧です。(2次側大気開放)
注4:動作差圧は、本製品が正常に動作するために必要な差圧です。流量レンジ、 適応流体によって異なりますのでご注意ください。
動作差圧の最小値は、2次側大気開放において、フルスケール流量を流すのに必要な差圧です。
最高使用圧力(動作差圧の最大値)は、一次側圧力の最大値です。これ以上の圧力がかかった場合、制御が不安定になったり、最大流量が制御できなくなります。
注5:本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注6:本製品内部の弁は漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。
注7:アナログ出力電圧の出力インピーダンスは約1KΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。
接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
注8:積算流量は計算(参考)値です。また、電源を切るとリセットされます。
注9:DC24V時、負荷未接続、フルスケール流量時の流量です。負荷の状態によっては、消費電流が変わりますのでご注意ください。
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
73,349円 ( 80,684円 ) | 13日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
64,836円 ( 71,320円 ) | 13日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
- ( - ) | 19日目 |
小形流量コントローラ・ラピフローFCMシリーズ。
【特長】
・適応流体は、空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパン等の各種ガスに対応。さらに、水素、ヘリウムが適応流体に加わりました。多彩な用途にご利用できます
・バーナーの火力制御等の供給圧力の低い燃焼ガスの流量制御が可能になりました
・サイズは70×70×30(縦×横×幅)
・狭いスペースや可動部に設置でき、設備の小型化・軽量化に貢献します
・シリコンマイクロマシニングを応用した
・白金センサチップの採用で、0.5secの高速制御が可能
・電源電圧はDC24V。汎用の単電源で動作します
・独自の整流機構により、流量制御性を左右する再現性の向上を図りました
・鉛や六価クロムなどの地球環境に悪影響を及ぼす物質を、使用材料から完全排除しました
・流量値を3桁でデジタル表示
・エラー表示の他、出力状態(スイッチ出力ON-OFF)を表示
・パラレル入力(PLC等のON/OFF信号、10bit分解能1024)で制御可能。D/Aコンバータ等のアナログ入出力機器が不要です
・エラー表示機能
・ゼロ・スパン調整機能
・プリセット入力機能
・ダイレクトメモリ機能
・スイッチ出力機能
・流量積算機能
・自動遮断機能
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
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Panasonic
圧力センサDP-100/DP-100L/DPH-100/DPC-100/DP-0シリーズ用オプション
5通常価格(税別):356円~

SMC
2+アナログ出力 3画面 デジタル圧力スイッチ ZSE20A(F)・ISE20A
5通常価格(税別):1,479円~

SMC
2色表示式 高精度デジタル圧力スイッチ ZSE30A(F)/ISE30Aシリーズ
4.8通常価格(税別):262円~

SMC
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4.7通常価格(税別):4,659円~
![2画面・デジタル圧力センサ [気体用] (DP-100/DP-100L)](https://content.misumi-ec.com/image/upload/t_product_recommend_a/t_log_reco/t_misumi_wm/v1/p/jp/product/series/221300057077/221300057077_001_20230801115837.jpg?$product_recommend_a$)
Panasonic
2画面・デジタル圧力センサ [気体用] (DP-100/DP-100L)
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SMC
3画面 高精度デジタル圧力スイッチ ZSE20(F)・ISE20シリーズ
4.5通常価格(税別):239円~

ミスミ
デジタル圧力センサ
4通常価格(税別):7,280円

SMC
空気圧用圧力スイッチ IS3000シリーズ
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ダイヤフラム式フロースイッチ IFW5シリーズ
4.5通常価格(税別):13,651円~