メカニカル部品技術窓口
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| 記号 | K | KE |
|---|---|---|
| 樹脂材質 | PEEK | 導電性PEEK |
| 用途 | 半導体・液晶製造装置 | 半導体・液晶製造装置、電子機器部品 |
| 体積抵抗率 | - | 105~106Ω・cm |
| 外観色 | ナチュラル | ブラック |
※体積抵抗率は、材料メーカーの公表する代表値であり、保証値ではありません。
| 型番 | チューブ内径 φD | パッド外径 φd | B | C | パッド接続記号 |
|---|---|---|---|---|---|
| VPMA10Q[5]-3B | 2 | - | 34 | 6 | -M4 |
※規格表中、型番内の[5]にはパッド樹脂材質が入ります。
※パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、下記の通りとなります。
※本シリーズはCADデータ修正中です。修正完了まで今しばらくお待ちください。
【特長】
・液晶ガラス、塗装工程、半導体製造設備の搬送に最適です。
・フレキシブルを設けた樹脂材質でワークを吸着。
・そのため、吸着痕がつきにくい。
・真空破壊時のワークの離脱性も向上します。
・樹脂パッドは、スパナと六角レンチを用いて本体を外すことなく簡単に交換できます。
・構造がシンプルな上、小型です。
・パッドサイズ、パッド材質、ホルダ形状を幅広く取り揃えております。
・「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けのパッドホルダを追加いたしました。
・金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBR を採用いたしました。
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
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ミスミ
ミニ吸着パッド
5通常価格(税別):330円~

ミスミ
ミニ吸着パッド用ホルダ
5通常価格(税別):940円~

SMC
真空パッド 基本形パッド ZPシリーズ 真空取出方向縦 バッファ付 ZPT
0通常価格(税別):2,462円~

SMC
非接触チャック XT661シリーズ
0通常価格(税別):9,284円~

シュマルツ
【シュマルツ】パウチ・袋用4.5段ベローズ真空パッド【SPB4/SPB4fシリーズ】
0通常価格(税別):2,410円~

アドバンテック(真空配管)
クランプシリーズ NWクランプ
4.7通常価格(税別):1,256円~

アドバンテック(真空配管)
NWフランジシリーズ NWブランクフランジ
4.5通常価格(税別):1,087円~

ミスミ
真空配管用継手 NWフランジ
5通常価格(税別):1,080円~

ミラプロ
NWフランジ(ISO-KF フランジタイプ)
5通常価格(税別):795円~