メカニカル部品技術窓口
真空パッド 吸着痕防止タイプ VPD バーブ継手タイプ
- 通常単価(税別)
- 6,475円～6,586円
- 税込単価
- 7,123円～7,245円
※本シリーズはCADデータ修正中です。修正完了まで今しばらくお待ちください。【...
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外形図
VPD10-6Q
VPD30-6Q
製品仕様
パッド材質・用途
| 記号 | K | KE |
|---|---|---|
| 樹脂材質 | PEEK | シリコーンゴム |
| 用途 | 半導体・液晶製造装置 | 半導体・液晶製造装置、電子機器部品 |
| 体積抵抗率 | - | 105～105Ω・cm |
| 外観色 | ナチュラル | ブラック |
- ※ 体積抵抗率は、材料保証値ではありません。
規格表
| 型番 | パッド外径 φd | チューブ内径 φD | B | L1 | L2 | E | ストローク S | スプリング力 （N） | パッド接続記号 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VPD10-6Q［5］-6B | - | 4 | 64.1 | 41 | 20 | 18.5 | 6 | 4.0～7.1 | -M4 |
| VPD30-6Q［5］-6B | 30 | 4 | 64 | 40.9 | 20 | 18.5 | 6 | 7.0～12.6 | -M6 |
- ※ 寸法表中、型番内の［5］にはパッド樹脂材質が入ります。パッド樹脂材質につきましてはパッド材質・用途を参照ください。
- ※ パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、4.5～6N・mとなります。
詳細情報
基本情報
※本シリーズはCADデータ修正中です。修正完了まで今しばらくお待ちください。
【特長】
・液晶ガラス、塗装工程、半導体製造設備の搬送に最適です。
・フレキシブルを設けた樹脂材質でワークを吸着。
・そのため、吸着痕がつきにくい。
・真空破壊時のワークの離脱性も向上します。
・樹脂パッドは、スパナと六角レンチを用いて本体を外すことなく簡単に交換できます。
・構造がシンプルな上、小型です。
・「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けのパッドホルダを追加いたしました。
・金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBR を採用いたしました。
ご注意
- 2019年8月1日より商品規格が変更となります。旧型式→新型式確認ページはこちら
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