メカニカル部品技術窓口
精密ステンレスレギュレータ PRS100シリーズ
- 通常単価(税別)
- 28,123円～44,917円
- 税込単価
- 30,935円～49,409円
精密ステンレスレギュレータ。【特長】・液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス圧...
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- 単価(税別)
- -円
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- -円(税込価格：-円)
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- -(参考出荷日：-円)
商品情報
外形図
製品仕様
液晶､半導体装置プロセスでの制御､ガスの圧力制御に最適
液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス圧力制御、ブロー圧力制御、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度（感度0.001MPa）に設定可能。
主弁部には独自のバランス構造を採用。
常時ブリードタイプながら低消費流量（2L / min（ANR）以下）
調圧ハンドルにプッシュ・ロック機構を採用。
接ガス部はSUS316およびフッ素ゴムを使用。
圧力計のオプション設定。
コンタミネーション管理された製造工程
圧力計はクリーンルーム外での1重包装となる。
パージガス圧制御
精密レギュレータに供給されるパージガスライン圧力の変動によるパージガス流量変動を小さく抑えられる。
- ※ 本回路は原理回路であり、推奨回路ではない。また、使用ガスはN2に限られるものではない。
- ※ エアブロー、液面制御、一般回路による耐蝕性向上、ノングリス・ノンオイルを必要とする回路に使用可能。
作動原理・内部構造
| 名称 | 材質 |
|---|---|
| 本体 | SUS316 |
| 調圧ノブ(ハンドル) | 樹脂(ABS) |
| ボンネット | 樹脂(PBT) |
| ダイヤフラムA,B | フッ素ゴム(FKM) |
| 調圧スプリング | ピアノ線(亜鉛めっき) |
| Oリング | フッ素ゴム(FKM) |
| 調圧バルブアッセンブリ | SUS316+フッ索ゴム(FKM) |
| 密閉フタ | SUS316 |
| 軸受 | ふっ素樹脂(PTFE) |
| バルブ戻りスブリグ | SUS316 |
| ブリードコントロールワイヤ | SUS316 |
| フィルタ | 樹脂(PVA) |
| アジャスティングスクリュー | 黄銅(ニッケルめっき) |
| スブリングシート | 黄銅(ニッケルめっき) |
| リングナット | 軟鋼(ニッケルめっき) |
| プラグ(添付) | SUS316 |
| ブラケット(オブション) | SPCC(ニッケルめっき) |
開発秘話
お客様のニーズに応えるべく、創業以来培ってきた設計ノウハウや生産技術を組み合わせ、厳しい検査を経て商品開発した製品です。
型番リスト
| 型番 |
|---|
通常単価(税別)
(税込単価) | 通常出荷日 |
|---|
28,754円 ( 31,629円 ) | 10日目 |
29,147円 ( 32,062円 ) | 10日目 |
43,760円 ( 48,136円 ) | 10日目 |
44,007円 ( 48,408円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
28,123円 ( 30,935円 ) | 10日目 |
29,145円 ( 32,060円 ) | 10日目 |
37,510円 ( 41,261円 ) | 10日目 |
44,917円 ( 49,409円 ) | 在庫品1日目当日出荷可能 |
30,031円 ( 33,034円 ) | 10日目 |
29,148円 ( 32,063円 ) | 10日目 |
39,653円 ( 43,618円 ) | 10日目 |
37,903円 ( 41,693円 ) | 10日目 |
詳細情報
基本情報
精密ステンレスレギュレータ。
【特長】
・液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス圧力制御、ブロー圧力制御、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度（感度0.001MPa）に設定可能
・コンタミネーション管理された製造工程
・主弁部には独自のバランス構造を採用
・常時ブリードタイプながら低消費流量｛2L/min（ANR）以下｝
・調圧ハンドルにプッシュ・ロック機構を採用
・接ガス部はSUS316およびフッ素ゴムを使用
・圧力計のオプション設定
【用途】
・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
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よくあるご質問（FAQ）
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