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用途/導入背景
・
クリーンブースに使用
・
ライン拡張により低コストで強度の高い新たなクリーンブースを設置する必要があったため、FRAMESで設計
工夫した点
・
基本的にNタイプ(
NEFS
)で構成し、強度が必要な部分のみ標準タイプ(
HFS
)を採用した
・
納入時に分割して取り外せるように、面と面は板金プレート(
SHPTSD8
)で締結した
・
天井部にはHEPAフィルターを設置できるスペースを設計した
設計時間
360分
外観寸法
W5,700×D3,100×H3,500(mm)
部品金額
通常価格(税別):953,123円
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