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導入機

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真空部品
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シリーズ名
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導入機種類
フランジ種類
フランジサイズ(呼び)
直線導入機 ストローク(mm)
使用圧力(参考値)(Pa ~)
ベーキング温度(℃)
  • おすすめ

ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M)

  • おすすめ

真空部品回転式フィードスルーISO-KF・ISO-K

    真空部品流体フィードスルー

      磁気結合式直進回転導入機(MFL)

        超小型回転導入機 RFTシリーズ

          XYテーブル機構

            回転導入機(ベローズ式)

              ベローズ式コンパクト直進導入機

                真空部品回転式・直線状モーションフィードスルー

                  コンパクト回転導入機(IRC)

                    直線導入機

                      真空部品直線状モーションフィードスルー

                        真空部品回転式フィードスルーCF-F

                          ベローズ式シールシャッター

                            ベローズ式直進導入機 自動タイプ(ILD-A)

                              回転導入機(電磁結合式)

                              メーカー

                              入江工研

                              インフィコン

                              インフィコン

                              入江工研

                              アリオス

                              入江工研

                              キヤノンアネルバ

                              入江工研

                              インフィコン

                              入江工研

                              キヤノンアネルバ

                              インフィコン

                              インフィコン

                              入江工研

                              入江工研

                              キヤノンアネルバ

                              シリーズ名

                              ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M)

                              真空部品回転式フィードスルーISO-KF・ISO-K

                              真空部品流体フィードスルー

                              磁気結合式直進回転導入機(MFL)

                              超小型回転導入機 RFTシリーズ

                              XYテーブル機構

                              回転導入機(ベローズ式)

                              ベローズ式コンパクト直進導入機

                              真空部品回転式・直線状モーションフィードスルー

                              コンパクト回転導入機(IRC)

                              直線導入機

                              真空部品直線状モーションフィードスルー

                              真空部品回転式フィードスルーCF-F

                              ベローズ式シールシャッター

                              ベローズ式直進導入機 自動タイプ(ILD-A)

                              回転導入機(電磁結合式)

                              CAD
                              • 2D
                              • 3D
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                              • 2D
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                              通常価格

                              264,000円

                              79,712円~

                              28,451円~

                              660,000円

                              -

                              114,000円

                              113,939円~

                              132,000円

                              49,507円~

                              152,400円

                              125,062円~

                              127,965円~

                              171,080円~

                              199,200円

                              396,000円

                              120,371円~

                              通常出荷日 10日目 20日目~ 15日目 33日目 3日目~ 22日目 70日目 22日目 20日目~ 22日目 70日目 20日目 20日目 22日目 33日目 70日目
                              導入機種類直線導入機回転導入機液体導入用回転導入機回転導入機導入機角度調整用回転導入機直線導入機直線導入機 / 関連部品回転導入機直線導入機直線導入機回転導入機シール用シャッター直線導入機回転導入機
                              フランジ種類CF/ICFNW/KFCF/ICF / NW/KFCF/ICFCF/ICF / NW/KFCF/ICFCF/ICFCF/ICFNW/KFCF/ICFCF/ICFCF/ICFCF/ICFCF/ICFCF/ICFCF/ICF
                              フランジサイズ(呼び)7016 / 25 / 40 / 63407016 / 25 / 34 / 40 / 707034 / 703416 / 25 / 407034 / 7016 / 4016 / 40707034 / 70
                              直線導入機 ストローク(mm)100--1000---1050 ~ 150-20 ~ 4020 ~ 50--100-
                              使用圧力(参考値)(Pa ~)1.0×10-81.0×10-71.0×10-61.0×10-51.0×10-9 / 1.0×10-61.0×10-81.0×10-81.0×10-81.0×10-61.0×10-51.0×10-81.0×10-81.0×10-81.0×10-81.0×10-81.0×10-8
                              ベーキング温度(℃)250110150 ~ 400120150 ~ 200150-150110150-300300150加熱不可-

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