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    A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります

    • 0.07
    • 0.1
    • 0.19
    • 0.2
    • 0.38
    • 0.45
    • 0.55
    • 0.6
    • 0.78
    • 1.5
    • 2.0
    • 2.5
    • 4
    • 4.2
    • 4.5
    • 4.6
    • 5
    • 5.5
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    • 0.011
    • 0.02
    • 0.020596206
    • 0.025
    • 0.03
    • 0.0422764228
    • 0.05
    • 0.08
    • 0.12
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    • 0.28
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真空バルブ（電磁弁駆動の種類：直動形）

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ：ゲートバルブ、Ｌ型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ（大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています）
コンダクタンスバルブ：ニードルバルブ、バタフライバルブ（空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです）
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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  • 高真空用電磁弁HVBシリーズ

    ＣＫＤ

    高真空用電磁弁HVBシリーズ

    評価 0.0
    高い真空度保持力、優れた耐久性を備えた高真空用電磁弁。【特長】・耐久性200万回（メーカー条件）・長期連続使用にも高い性能を維持でき、信頼性に優れたハイクオリティなバルブ・真空漏れ1×10の‐9乗Pa・m3/s以下。内部、外部漏れ量が安定しており、高い真空度保持力を誇る・特殊パッキン採用。FKM製、シール寿命に優れている・高耐食。ボディにステンレスを採用・高い真空度保持力。低リークで、真空度保持力が安定。背圧使用可能（逆真空）一部機種を除く・シンプルな構造でメンテナンスが容易にできる【用途】・真空回路の切り替えに
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - NPT / JXR継手 / くい込み継手
    通常出荷日 ： 7日目～

  • 常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

    • SALE 2024/06/30まで

    SMC

    常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

    評価 0.0
    発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁 。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - Rc / フェースシール継手 / コンプレッション継手
    通常価格(税別) ： 19,209円～
    特別価格
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • 高真空アングルバルブ（複動・単動）

    • SALE 2024/06/30まで

    入江工研

    高真空アングルバルブ（複動・単動）

    評価 0.0
    ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されている。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易（コンフラットフランジ）。・取り付け姿勢が自由（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨）。
    CAD ：
    3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 38,221円～
    特別価格
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • 制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

    コガネイ

    制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

    評価 0.0
    軽量かつコンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します・供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用します・操作力が小さいため、高頻度作業に適し小形で大流量が得られます【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    CAD ：
    3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 8.5 Rc
    通常価格(税別) ： 9,599円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    評価 0.0
    駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 33,277円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • 高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

    ＣＫＤ

    高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

    評価 0.0
    高真空用の電磁弁。【特長】・NC（通電時開）形・接続口径：フランジΦ48、Φ52【用途】・真空及び不活性ガスの制御に最適
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 19,591円～
    通常出荷日 ： 8日目～

  • 《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

    コガネイ

    《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

    評価 0.0
    多様な制御ニーズに応えて､新たに正圧・常時開仕様と真空仕様をラインアッフﾟ！生産ラインの機械・装置にベストな制御系が選択可能になりました｡
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 0.1 ～ 0.45 M
    通常価格(税別) ： 4,154円～
    通常出荷日 ： 8日目～

  • 高真空L型バルブ（自動）2FLV

    入江工研

    高真空L型バルブ（自動）2FLV

    評価 0.0
    【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。）・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。（ コンフラットフランジ）
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 110,810円
    通常出荷日 ： 6日目

  • 真空エジェクタユニット VSXPシリーズ

    ＣＫＤ

    真空エジェクタユニット VSXPシリーズ

    評価 0.0
    軽量、コンパクトな外観、真空システムのハイサイクル化を実現した真空切換ユニット。【特長】・市場のニーズに応えた軽量、コンパクトな真空ユニット・真空ユニットVSXPの固定方法には、側面からネジ等により固定するダイレクトマウントタイプ、およびDINレールへの取付けが可能なDINレール取付タイプを用意・真空用圧力スイッチには、視認性の良いデジタル表示付真空用圧力スイッチを用意・デジタル表示付真空用圧力スイッチには、2点スイッチ出力付き、およびアナログ出力付きの2タイプを用意・様々な用途、コストに合わせた選択が可能【用途】・配線にはコネクタ方式を採用し、配線レイアウトを容易に行える
    CAD ：
    2D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ 直動形 4.5 ワンタッチ配管
    通常出荷日 ： 8日目～

  • インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    アリオス

    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    評価 0.0
    停電時の真空保管・安全対策に！【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90～260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ（TLV-02） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 410,401円
    通常出荷日 ： 15日目

  • タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

    アリオス

    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

    評価 0.0
    停電時ポンプのオイルバック防止に最適な遅延リークバルブ。【特長】・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。・RP,TMP等に直接取り付けることができます。・遅延時間が 25秒の Sタイプと 45秒の Lタイプ、2種類からご指定いただけます。・大気リーク及びN2等によるガスリークができます。・電源入力電圧は AC 90～260Vと DC 24V に対応しています。・インターロックバルブ （ILV-01） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    遅延真空電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 134,357円
    通常出荷日 ： 3日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    高真空用電磁弁HVBシリーズ

    • SALE 2024/06/30まで

    常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

    • SALE 2024/06/30まで

    高真空アングルバルブ（複動・単動）

      制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

        アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

          高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

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                真空エジェクタユニット VSXPシリーズ

                  インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

                    メーカー

                    ＣＫＤ

                    SMC

                    入江工研

                    コガネイ

                    SMC

                    ＣＫＤ

                    コガネイ

                    入江工研

                    ＣＫＤ

                    アリオス

                    アリオス

                    シリーズ名

                    高真空用電磁弁HVBシリーズ

                    常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

                    高真空アングルバルブ（複動・単動）

                    制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

                    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

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                    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

                    CAD
                    • 2D / 3D
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                    • 3D
                    • 3D
                    • 2D / 3D
                    • 2D
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                    -

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                    通常出荷日 7日目～ 在庫品1日目～
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                    一部当日出荷可能                    		 在庫品1日目～
                    一部当日出荷可能                    		 在庫品1日目～
                    一部当日出荷可能                    		 8日目～ 8日目～ 6日目 8日目～ 15日目 3日目
                    種類高真空用電磁弁高真空用電磁弁空操真空弁電磁真空弁電磁真空弁高真空用電磁弁電磁真空弁空操真空弁電磁真空弁電磁真空弁遅延真空電磁弁
                    用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用 / 多連単体使用単体使用単体使用単体使用
                    設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト / マニホールドベースダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
                    ポート数2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁
                    ソレノイドの種類シングルシングル-シングルシングルシングルシングル--シングルシングル
                    切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン2位置ノーマルオープン
                    電磁弁駆動の種類直動形直動形直動形直動形直動形直動形直動形直動形直動形直動形直動形
                    有効断面積(mm2)---8.5--0.1 ～ 0.45-4.5--
                    配管口の種類NPT / JXR継手 / くい込み継手Rc / フェースシール継手 / コンプレッション継手フランジRcフランジフランジMフランジワンタッチ配管フランジフランジ
                    配管ねじの呼び1/8 / 1/4 / 3/81/4 / 3/8-1/4--M5 / M3----
                    接続チューブ径--------φ4 / φ6--
                    フランジ種類--NW-KFJIS-CF-NW / その他NW
                    フランジ呼び--16 / 25 / 40 / 50-16 / 2548 / 52-70-40 / 7025
                    CV値0.17 ～ 1.05--0.47--0.006 ～ 0.025---0.05
                    1. 1

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