真空ポンプ

真空ポンプとは、対象物から気体を抜いて真空状態にするためのポンプです。各種実験・分析装置、半導体装置などの真空源として使用されるほか、気体のサンプリング、液体の撹拌などの用途にも使われます。製品タイプには、真空・排気に油を含まないドライ式、専用オイルを用いて気密・排気を行う油回転式、ピストンリングやダイヤフラムの往復運動によって気密・排気を行うエア式などの種類があり、動力源は手動・電力・電池・充電など製品によって異なります。稼働時に発生する音を低減させたもの、装置への組み込みに適したコンパクトサイズのもの、付属のバルブによって真空度の調整が可能なものなど、さまざまな特徴を有する製品があります。

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