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高真空度クラス対応形スイッチ

高真空度クラス対応形スイッチ
通常単価:
17,599円~
通常出荷日:
在庫品1日目~  当日出荷可能18:00まで受付

10^-5Pa 高真空度クラス対応のコンタクトスイッチ。
【特長】
・低アウトガス対応部品のみで製造した、高真空環境専用の位置決めスイッチ。
【用途】
・真空チャンバーの半導体ウェハーの有無検出に。
・真空成膜装置、太陽光発電(PV)真空装置のガラス基板の位置決めに。
・FPD向け真空成膜装置のガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出しに。
・大手半導体製造装置メーカーに続々採用。

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型番

4 の型番候補があります候補を表示

高真空度クラス対応形スイッチ GNシリーズ

低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めコンタクトスイッチ

低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めコンタクトスイッチ

機種ラインナップ

形式名動作形態コード方向
GN-PT5M3AA:NOストレート
GN-PT5M3BB:NC
GN-PT5M3A-RA:NO直角
GN-PT5M3B-RB:NC

仕様

接点構造接点形
動作形態A:NO/B:NC
動作点の繰返し精度ON⇄OFFとも0.003mm(レンジ)
対応真空度/ベーキング許容温度10-5Pa/120℃
動作までの動き約0.3(A:NO)/なし(B:NO)
応差0
接点精度寿命300万回
ストローク1.5mm
接触力0.5N
接点定格DC5V~DC24V 定常電流10mA以下(突入電流20mA以下)

真空環境下での位置決めアプリケーション

真空チャンバー

半導体ウェハーの有無検出

半導体ウェハーの有無検出

真空成膜装置

ガラス基板の位置決め

ガラス基板の位置決め

太陽光発電(PV)真空装置

ガラス基板の位置決め

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FPD向け真空成膜装置

ガラス基板のアライメント

ガラス基板のアライメント

FPD向け真空成膜装置

マスクのトレイ着座検出

マスクのトレイ着座検出

FPD向け真空成膜装置

キャリアの原点出し

キャリアの原点出し

高真空度クラス対応形スイッチの活用事例

真空チャンバー内での半導体ウェハーの有無検出

光電センサの場合はビューポートから検知をするが、蒸着時の曇りによって誤検知してしまう。

光電センサの場合はビューポートから検知をするが、蒸着時の曇りによって誤検知してしまう。

高真空度クラス対応形スイッチなら、真空環境でも検知可能に。

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GN-PT5M3A-R
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GN-PT5M3B-R
型番通常単価最小発注数量スライド値引通常
出荷日
RoHS接点の種類 動作点
(mm)
接触力
(N)
接点精度寿命
(万回)
保護構造 コード方向 対応真空度 ベーキング許容温度

17,599円

1個

在庫品1日目

当日出荷可能

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基本情報

種類 ピンストローク形・スプリングプランジャタイプ 本体形状 ボルトタイプ 先端形状 Rコンタクト
環境 真空 本体材質 SUS304 コンタクト部材質 SUS HRC45
ストローク(mm) 1.5 ねじの呼び (M) M5×0.5 繰返し精度 0.003mm
先端径 φ1.5 LED なし

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よくあるご質問(FAQ)

質問: RoHS指令に対応していますか?
回答: 標準製品については、全てRoHS指令に対応しております。
質問: 輸出に必要な各種規格には、対応していますか?
回答: 当社の製品は、貿易輸出管理例・CEマーク・機械指令・低電圧指令に非該当です。

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