• 宅配会社の取り扱い荷量の増大が見込まれる繁忙期において、12月1日から出荷に関する変更(※)のご依頼についての受付は、 15時までとさせていただきます。
    ※着店止め、守衛止め、送り先変更、AM/PM指定、必着指示、有料配送サービスなどを指します。
    また、12月のお歳暮・クリスマスシーズンに伴い宅配荷物が増加しつつあり、お届け遅延が発生する地域が増えてきています。日数に余裕を持ってご注文いただきますようお願い申し上げます。ご不便、ご迷惑をお掛けいたしますが、何卒よろしくお願い申し上げます。
    ご不明な点は、ミスミお客様サービス窓口(0120-343-066)までお問い合わせください。

高真空度クラス対応形スイッチ

高真空度クラス対応形スイッチ

10^-5Pa 高真空度クラス対応のコンタクトスイッチ。
【特長】
・低アウトガス対応部品のみで製造した、高真空環境専用の位置決めスイッチ。
【用途】
・真空チャンバーの半導体ウェハーの有無検出に。
・真空成膜装置、太陽光発電(PV)真空装置のガラス基板の位置決めに。
・FPD向け真空成膜装置のガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出しに。
・大手半導体製造装置メーカーに続々採用。

PDF

型番

商品を一つに絞り込むとこちらに型番が表示されます

高真空度クラス対応形スイッチ GNシリーズ

低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めコンタクトスイッチ

低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めコンタクトスイッチ

機種ラインナップ

形式名動作形態コード方向
GN-PT5M3AA:NOストレート
GN-PT5M3BB:NC
GN-PT5M3A-RA:NO直角
GN-PT5M3B-RB:NC

仕様

接点構造接点形
動作形態A:NO/B:NC
動作点の繰返し精度ON⇄OFFとも0.003mm(レンジ)
対応真空度/ベーキング許容温度10-5Pa/120℃
動作までの動き約0.3(A:NO)/なし(B:NO)
応差0
接点精度寿命300万回
ストローク1.5mm
接触力0.5N
接点定格DC5V~DC24V 定常電流10mA以下(突入電流20mA以下)

真空環境下での位置決めアプリケーション

真空チャンバー

半導体ウェハーの有無検出

半導体ウェハーの有無検出

真空成膜装置

ガラス基板の位置決め

ガラス基板の位置決め

太陽光発電(PV)真空装置

ガラス基板の位置決め

ガラス基板の位置決め

FPD向け真空成膜装置

ガラス基板のアライメント

ガラス基板のアライメント

FPD向け真空成膜装置

マスクのトレイ着座検出

マスクのトレイ着座検出

FPD向け真空成膜装置

キャリアの原点出し

キャリアの原点出し

高真空度クラス対応形スイッチの活用事例

真空チャンバー内での半導体ウェハーの有無検出

光電センサの場合はビューポートから検知をするが、蒸着時の曇りによって誤検知してしまう。

光電センサの場合はビューポートから検知をするが、蒸着時の曇りによって誤検知してしまう。

高真空度クラス対応形スイッチなら、真空環境でも検知可能に。

高真空度クラス対応形スイッチなら、真空環境でも検知可能に。

関連商品

超小形 高精度PT‐タッチスイッチ PT

超小形 高精度PT‐タッチスイッチ PT

超小型のタッチスイッチです。

型番
GN-PT5M3A
GN-PT5M3A-R
GN-PT5M3B
GN-PT5M3B-R
型番通常単価最小発注数量スライド値引通常
出荷日
RoHS接点の種類 動作点
(mm)
接触力
(N)
接点精度寿命
(万回)
保護構造 コード方向 対応真空度 ベーキング許容温度

17,599円

1個 在庫品1日目(当日可能) 対応接点式 NO0.30.5300IP40ストレート10^-5Pa120℃

17,899円

1個 7日目 対応接点式 NO0.30.5300IP40直角10^-5Pa120℃

17,599円

1個 7日目 対応接点式 NC00.5300IP40ストレート10^-5Pa120℃

17,899円

1個 7日目 対応接点式 NC00.5300IP40直角10^-5Pa120℃

Loading...

  1. 1

基本情報

種類 ピンストローク形・スプリングプランジャタイプ 本体形状 ボルトタイプ 先端形状 Rコンタクト
環境 真空 本体材質 SUS304 コンタクト部材質 SUS HRC45
ストローク(mm) 1.5 ねじの呼び (M) M5×0.5 繰返し精度 0.003mm
先端径 φ1.5 LED なし

高真空度クラス対応形スイッチのレビュー

この商品のレビューはありません レビューを書く

よくあるご質問(FAQ)

質問: RoHS指令に対応していますか?
回答: 標準製品については、全てRoHS指令に対応しております。
質問: 輸出に必要な各種規格には、対応していますか?
回答: 当社の製品は、貿易輸出管理例・CEマーク・機械指令・低電圧指令に非該当です。

このカテゴリにはこんな商品もあります!

よく一緒に購入されている商品

この商品を見た人は、こんな商品も見ています

技術サポート窓口

メカニカル部品技術窓口
Tel:0120-343-603 / Fax:03-5805-7292
受付時間:8:00~20:00(日曜日・年末年始は除く)

チャットでのご相談も受け付けております。

受付時間: 平日 9:00~18:00(土曜日・日曜日・祝日は除く)