クリーンフィルタインライン形 FCS500シリーズ

クリーンフィルタインライン形 FCS500シリーズ
通常単価:
-
通常出荷日:
10日目~

独自の中空糸膜を採用した、インライン形クリーンフィルタ。
【特長】
・中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現。
・平膜式と比べ、約5倍の長寿命。
・小形・軽量で大流量。
・禁油仕様。
・組み立てから包装までクリーンルーム内で一貫生産。
・メンテンナンスが容易。
【用途】
・イオナイザー、液晶基盤搬送(非接触)、ディスク成形機のクリーンブローなど。

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独自の中空糸膜を採用した、インライン形クリーンフィルタ

FCS500の外観

FCS500の外観

中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現。中空糸膜とは、直径3mm以下のチューブ状の膜で、膜壁に無数の微小穴を有する多孔質構造であり、これを数十本以上束ねた中空糸膜モジュールをフィルタろ材に使用。
平膜式と比べ、約5倍の長寿命。
同一容積の平膜式に比べ、3〜10倍のろ過面積を有しているため、大容量で低圧損。同一流量で比較すると、平膜式よりも小形・軽量化が可能。
部品はすべて脱脂洗浄を実施した禁油仕様。組み立てから包装までクリーンルーム内で一貫生産。
樹脂タイプは透明ケースを採用しているため、エレメントの汚れが目視確認でき、メンテンナンスが容易。
材質や取り付けの種類が豊富。
イオナイザー、液晶基盤搬送(非接触)、ディスク成形機のクリーンブロー、吸着搬送・真空破壊時のエアクリーン化などに最適。

型番詳細(樹脂タイプ)

型番詳細(樹脂タイプ)

型番詳細(ステンレスタイプ)

型番詳細(ステンレスタイプ)

FCS500の仕様

樹脂タイプの内部構造および材質 1.ボディ ポリアミド(標準)/ポリアミド・アルミニウム(アルマイト処理)(おねじ配管タイプ) 2.エレメント ハウジング 透明ポリアミド、フィルタ ポリプロピレン、ポッティング材 ウレタン 3.,ピン ステンレス 4.ピン ステンレス 5.Oリング フッ素ゴム 6.カートリッジ継手 黄銅(ニッケルメッキ)、水素化ニトリルゴム

樹脂タイプの内部構造および材質

  1. 1.ボディ ポリアミド(標準)/ポリアミド・アルミニウム(アルマイト処理)(おねじ配管タイプ)
  2. 2.エレメント
    ハウジング 透明ポリアミド、フィルタ ポリプロピレン、ポッティング材 ウレタン
  3. 3.ピン ステンレス
  4. 4.ピン ステンレス
  5. 5.Oリング フッ素ゴム
  6. 6.カートリッジ継手 黄銅(ニッケルメッキ)、水素化ニトリルゴム
ステンレスタイプの内部構造および材質 1.ボディ ステンレス 2.エレメント ハウジング ステンレス、フィルタ ポリプロピレン、ポッティング材 ウレタン 3.ピン ステンレス 4.ピン ステンレス 5.Oリング フッ素ゴム(P90)/水素化ニトリルゴム(P94)

ステンレスタイプの内部構造および材質

  1. 1.ボディ ステンレス
  2. 2.エレメント
    ハウジング ステンレス、フィルタ ポリプロピレン、ポッティング材 ウレタン
  3. 3.ピン ステンレス
  4. 4.ピン ステンレス
  5. 5.Oリング フッ素ゴム(P90)/水素化ニトリルゴム(P94)
項目標準エレメント樹脂タイプおねじ配管タイプP9エレメントステンレスタイプ
FCS500-(※1)(※2)FCS500-(※1)(※2)FCS500-66-P90
FCS500-66-P94
FCS500-88-P90
FCS500-88-P94
使用流体圧縮空気、N2
IN側口径(※1)φ4、φ6、φ8から選択φ4、φ6、φ8、R1/8、R1/4 から選択Rc1/8Rc1/4
OUT側口径(※2)Rc1/8Rc1/4
耐圧力MPa1.51.52.25(圧縮空気)、1.5(N2)
耐差圧力MPa0.5(但し、45~50℃は0.2)0.5(但し、45~50℃は0.2)0.5
使用圧力MPa−0.095~0.99注2−0.095~0.99注2−0.095~1.5(圧縮空気)、−0.095~0.99(N2)
周囲温度・流体温度℃5~505~505~45
ろ過度μm0.01(除去効率99.99%)
処理流量l/min(ANR)注150(H8H8タイプは80)50(H88A、8AH8タイプは80)5080
質量g4545100100
材質ボディポリアミドポリアミド、アルミ(アルマイト処理)ステンレス
ケース透明ポリアミド透明ポリアミドステンレス
エレメントポリプロピレン+ウレタン
組立・検査・包装クリーンルームにて一貫生産
洗浄脱脂洗浄

注1 1次圧力0.7MPa、圧力降下0.03MPa時の初期流量。
注2 最高使用圧力は使用温度で変化する。

FCS500の外形寸法図(mm)

樹脂タイプ 接続口径 IN側(カートリッジ継手)-OUT側(カートリッジ継手)

樹脂タイプ
接続口径 IN側(カートリッジ継手)-OUT側(カートリッジ継手)

樹脂タイプ 接続口径 IN側(カートリッジ継手)-OUT側(おねじ)

樹脂タイプ
接続口径 IN側(カートリッジ継手)-OUT側(おねじ)

樹脂タイプ 接続口径 IN側(おねじ)-OUT側(おねじ)

樹脂タイプ
接続口径 IN側(おねじ)-OUT側(おねじ)

ステンレスタイプ

ステンレスタイプ

型番
FCS500-66-P90
FCS500-66-B-P90
FCS500-88-P90
FCS500-88-B-P90
FCS500-[6A,​8A,​H4,​H6,​H8][6A,​8A,​H4,​H6,​H8]
型番通常単価最小発注数量スライド値引通常
出荷日
配管ねじの呼び 接続種類 使用圧力範囲
(MPa)
接続チューブ径 インラインフィルタ ケース材質 添付 OUT側接続口径 クリーン仕様 ねじ種類

-

1個

10日目

-[Rc(R)] Rc(R)-0.095~0.99-ステンレスなしRc1/8P90:ステンレス材使用 禁油処理めねじ

-

1個

10日目

-[Rc(R)] Rc(R)-0.095~0.99-ステンレスB:ブラケット、取付ねじRc1/8P90:ステンレス材使用 禁油処理めねじ

-

1個

10日目

-[Rc(R)] Rc(R)-0.095~0.99-ステンレスなしRc1/4P90:ステンレス材使用 禁油処理めねじ

-

1個

10日目

-[Rc(R)] Rc(R)-0.095~0.99-ステンレスB:ブラケット、取付ねじRc1/4P90:ステンレス材使用 禁油処理めねじ

-

1個

18日目

1/8 / 1/4ワンタッチ配管 / [Rc(R)] Rc(R)-0.095~0.99φ4 / φ6 / φ8樹脂なしR1/4 / R1/8 / ワンタッチ継手 φ4 / ワンタッチ継手 φ6 / ワンタッチ継手 φ8樹脂使用 禁油処理(標準)おねじ

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禁油仕様・ステンレスボディを採用して
おり、半導体製造装置や液晶製造装置に使用されるクリーン
エア、N2の圧力制御に最適です。また、コンパクト・大流量の
ため、エア(N2)ブローに適しています。

基本情報

流体品質 一般乾燥エア / 超乾燥エア 種類 インラインフィルタ ろ過度 0.01μm
ボウルガード なし インラインフィルタ エレメント交換 不可

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