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産業用コネクタ特集 第一回 大気圧・真空の境界に取付、電気通信を可能にした真空(気密)コネクタ

ミスミでは多数のコネクタの取扱いをしておりますが、お客様のご要望におこたえしてコネクタに関する商品情報掲載を開始させて頂きました。

今回ご紹介させて頂くのは、耐環境コネクタシリーズの一つである真空(気密)コネクタです。「真空」とは、大気圧より低い圧力になっている特定空間の状態を示します。真空にすることで微細なゴミや、数々の汚染物質の影響、水蒸気や空気の存在を排除できます。そのため、半導体業界では6割以上の装置が真空装置と言われています。ただし、真空装置のチャンバー内に配線を施そうとしても、一般的なコネクタでは空気漏れが起きるため、大気圧と真空との境界をつなぐ専用コネクタが必要です。以下に、真空コネクタが使用されている活用例をご紹介させて頂きます。

活用例1 真空乾燥を行うチャンバーに配線するヒーターの電源通信用に!!

電気機器の中でもコイルやケーブルのように、コイル線が密接に並んでいたり、銅線が絶縁被覆に覆われていたりする場合、製品内部に残留水があると不良の原因となります。そこで、確実に残留水を除去する方法として、真空乾燥という方法があります。より早く乾燥を仕上げるために、ヒーターをチャンバー内に設置しますが、外部から電源を送る必要があるため、真空コネクタが使用されます。

活用例2 真空チャンバー内で試験・分析を行う際の信号通信用に!!

半導体業界に限らず様々業界で真空チャンバーが利用されています。真空空間でどのような変化が起こりうるのかを分析する際、分析の途中経過も含め、観察・計測する必要があります。そこで、外部機器との通信を可能にし、かつ安定的に真空チャンバー内の圧力を保つために、真空コネクタを使用されます。

本製品の特長

特徴1:セルフラッチング方式について *右図参照
セルフラッチング方式の採用により簡単にすばやく確実な抜き差しができます。一度嵌合すると外側のシェルを引っ張らない限り、抜けることはありません。そのため、差込みが不便な箇所や振動の多い箇所での設置に最適なコネクタです。
特徴②:真空環境で使用できる理由
真空コネクタの結合面にはエポキシ樹脂が充填されています。そのため結合面が密封され、大気圧と真空との間に隔壁ができ、空気漏れを防いでいます。
*エア漏れ率:<10-7mbar.l.s-1、IEC60512-7 test 14b

ラインナップ一覧

LEB-P-*B**-**(ストレートプラグ)

ケーブルの仕上外形に合わせ、数種類のコレットから選択可能

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LEB-R/HR-*B**(パネル取付レセプタクル)

使用環境に合わせ、耐熱性と真空性の2タイプをラインナップ

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LEB-**-PCA/RCA(防塵キャップ)

未使用時の防塵対策に最適で、コード付のため取外し後も紛失せず安心

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今後のお知らせ

今回の真空コネクタの商品情報に続きまして、次回は耐候コネクタを予定しております。