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導入機

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真空部品
  • 表示件数
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    45件
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  • すべて
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    • おすすめ
    ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M)

    ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M)

    入江工研

    駆動部シールに溶接ベローズを採用し、超高真空の領域で使用可能な手動型の導入機。 【特長】 ・ベローズ式であることで高真空が保持でき、尚磁場なども発生しない。 ・機能中心に極めてシンプルな構成のため小型で軽量。 ・ベーキング温度250℃に耐える設計。 【用途】 ・小型の汎用装置などのワークの移動に最適。

    CAD
    2D
    通常価格
    264,000円
    通常出荷日
    10日目
    • おすすめ
    真空部品 回転式フィードスルー ISO-KF/ISO-K

    真空部品 回転式フィードスルー ISO-KF/ISO-K

    インフィコン

    高トルク伝達用回転式フィードスルー FPMシャフトシールとボールベアリング付き 真空接続 DN(NW)16 /25 /40 ISO-KF、DN63 ISO-Kより選択可能 最高回転速度 1500 RPM ベークアウト温度 110℃ RoHS対応

    CAD
    3D
    通常価格
    79,712円~
    通常出荷日
    20日目~
  • 真空部品 回転式/直線状モーションフィードスルー

    真空部品 回転式/直線状モーションフィードスルー

    インフィコン

    回転式/直線状モーションフィードスルー ダイレクトプッシュ/プルおよびロータリーアクチュエーション ロッキングリング付き(回転防止デバイスはオプション) 真空接続 DN(NW) 16 / 25 /40 ISO-KF フランジ 圧力(絶対圧) 1E-6Pa…0.1MPa RoHS対応

    CAD
    3D
    通常価格
    49,507円~
    通常出荷日
    20日目
  • コンパクト回転導入機(IRC)

    コンパクト回転導入機(IRC)

    入江工研

    非常にコンパクト(小型)なベローズ式回転導入機。 【特長】 ・真空容器内に回転を与える事が出来る。 ・360°連続回転可能、回転寿命は100,000回を保証。 ・高真空の領域で使用が可能。 ・機能中心のシンプル構造で小型、軽量になっている。 ・ベーキング温度が最高150℃(120℃)に耐えられる設計。 【用途】 ・真空容器内のワークやテーブルのθ方向の移動に利用可能。

    CAD
    2D
    通常価格
    152,400円
    通常出荷日
    22日目
  • 磁気結合式直進回転導入機(MFL)

    磁気結合式直進回転導入機(MFL)

    入江工研

    磁石を使用した回転及び直進導入機。 【特長】 ・永久磁石を用いた用いた磁気カップリング方式で、ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能。 ・500mmを超える長尺のワーク移動が可能。 ・サマリュウム-コバルト磁石を使用する事で、高トルクを実現。 ・ステンレス鋼薄板でキャンドされた真空内の従動磁石部でガス放出量が低減。 ・ロストモーションも少なく設計で、磁石を取り付けたままベーキングができる。 ・モーター駆動が可能で、遠隔操作化、搬送の自動化が容易。 【用途】 ・中型の汎用装置でのワークの移動に最適。

    CAD
    2D
    通常価格
    660,000円
    通常出荷日
    33日目
  • ベローズ式シールシャッター

    ベローズ式シールシャッター

    入江工研

    真空容器内を確認するビューポートと共に使用する導入機。 【特長】 ・蒸着を行うときに真空容器に取り付ける。 ・ビューポートがデモなどで汚れる事が無い。 ・バタフライ式で、シャッター曲げ式機構のため、視界が広範囲。 【用途】 ・蒸着装置などのビューポートの保護に最適。

    CAD
    2D
    通常価格
    199,200円
    通常出荷日
    22日目
  • 超小型回転導入機 RFTシリーズ

    超小型回転導入機 RFTシリーズ

    アリオス

    【特徴】 ・200℃までベーキング可能で、超高真空対応の回転導入機。 ・磁気結合構造により、長寿命。

    通常出荷日
    3日目~
  • ベローズ式コンパクト直進導入機

    ベローズ式コンパクト直進導入機

    入江工研

    非常にコンパクト(小型)な直進導入機。 【特長】 ・CF34の接続口がある。 ・金属溶接ベローズを内蔵し、省スペースを可能とする手動の真空直線(直進)タイプ。 ・ストロークを10~200mmまで規格化。 ・溶接ベローズを駆動部シールに採用し、超高真空の領域で使用できる。 ・機能中心のシンプルな構成で、小型・軽量化し、ベーキング温度が250℃に耐える設計。 ・真空内に設置したステージを大気側より調整する為の機構。 【用途】 ・コンパクトな真空容器に利用可能。

    CAD
    2D
    通常価格
    132,000円
    通常出荷日
    22日目
  • XYテーブル機構

    XYテーブル機構

    入江工研

    XYθ(シータ:角度)の位置調整のために使用する導入機。 【特長】 ・ベローズ式シール機構。 ・コンフラットフランジにCF70、114、152をラインナップ。 ・XY方面調整のみでなく、角度調整機構付き。 ・磁気結合式直進回転導入機(MLF)を取り付ける際の軸差及び角度調整ができる。 【用途】 ・長尺で軸の撓みが多い物や精度を必要とするときに使用。 ・真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適。

    CAD
    2D
    通常価格
    114,000円
    通常出荷日
    22日目
  • 真空部品 流体フィードスルー

    真空部品 流体フィードスルー

    インフィコン

    流体フィードスルー H2OおよびLN2に使用可能 高温または低温のアプリケーションに使用可能 真空接続 DN40 ISO-KF / 40CF-F (=ICF70) フランジ 圧力(絶対圧) 1E-7Pa…1.0MPa RoHS対応

    CAD
    3D
    通常価格
    28,451円~
    通常出荷日
    15日目
  • ベローズ式直進導入機 自動タイプ(ILD-A)

    ベローズ式直進導入機 自動タイプ(ILD-A)

    入江工研

    駆動部シールに溶接ベローズを採用し、超高真空の領域で使用可能な自動タイプの導入機。 【特長】 ・溶接ベローズを採用することで、0~100mmを精度よく駆動する事が可能。 ・ベローズ式であることで高真空が保持でき、尚磁場なども発生しない。 ・ステッピングモータによる制御。 【用途】 ・磁場を気にする真空容器内のワークの移動に利用可能。

    CAD
    2D
    通常価格
    396,000円
    通常出荷日
    33日目
  • 真空部品 直線状モーションフィードスルー

    真空部品 直線状モーションフィードスルー

    インフィコン

    ベロー式直線状モーションフィードスルー ダイレクトプッシュ/プル アクチュエーション マイクロメーターによる高精度調整 真空接続 DN 16CF-R (=ICF34) / 40CF-R (=ICF70) フランジ 圧力(絶対圧) 1E-6Pa…0.2MPa RoHS対応

    CAD
    3D
    通常価格
    127,965円~
    通常出荷日
    20日目
  • 真空部品 回転式フィードスルー CF-F

    真空部品 回転式フィードスルー CF-F

    インフィコン

    ベローシール式回転式フィードスルー オールメタル仕様 真空接続 DN 16CF-F (=ICF34) / 40CF-F (=ICF70) フランジ 圧力(絶対圧) 1E-6Pa…0.2MPa 使用温度/ベークアウト温度 300℃ /300℃ RoHS対応

    CAD
    3D
    通常価格
    171,080円~
    通常出荷日
    20日目

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