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真空バルブ(種類:電磁真空弁)

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ:ゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ(大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています)
コンダクタンスバルブ:ニードルバルブ、バタフライバルブ(空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです)
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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  • アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    評価 0.0
    駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 33,277円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • 制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

    コガネイ

    制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

    評価 0.0
    軽量かつコンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・配管ポートと流れの方向に制約されないNC(常時閉)・NO(常時開)共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁(2圧切換弁)や、デバイダ弁(分配弁)としても、その真価を発揮します・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備(DC24V用はオプション)ソレノイドの焼損やうなりを解消します・供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用します・操作力が小さいため、高頻度作業に適し小形で大流量が得られます【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    CAD :
    3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 8.5 Rc
    通常価格(税別) : 9,599円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • スタンダード電磁弁112シリーズ(真空対応)

    コガネイ

    スタンダード電磁弁112シリーズ(真空対応)

    評価 0.0
    軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁。【特長】・強制離脱や真空破壊のできる真空・正圧併用タイプもシリーズ化・外部パイロット方式の採用により、2・3ポート弁の多様な機能を満載・コンパクトなボディながらたくみな多芸多才ぶりを発揮・配管ポート位置と流れ方向に制約を受けないNC(常時閉)・NO(常時開)共用の2・3ポート弁・真空はもちろん、正圧と併用しても使用可能で、真空破壊や強制離脱用バルブとして使用可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 外部パイロット形 4.2 M
    通常価格(税別) : 5,985円~
    通常出荷日 : 8日目
  • 真空ポンプ対応ユニット VQP(真空スイッチ付)

    日本ピスコ

    真空ポンプ対応ユニット VQP(真空スイッチ付)

    評価 0.0
    ・大流量の制御に最適な真空ユニット。・真空スイッチ仕様(□31mm幅 2点出力真空スイッチ)。【特長】・大流量の制御に最適な31.5mm幅の真空ポンプ対応ユニット。・真空供給用バルブタイプは、ノーマルクローズとノーマルオープンを用意。・圧力センサは、□31mmで大型LED表示による高視認性を実現。・様々なニーズに対応すべく、豊富なバリエーションを揃えております。
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト - - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ エアパイロット - ワンタッチ配管
    通常価格(税別) : 27,486
    通常出荷日 : 8日目~
  • スタンダード電磁弁182シリーズ(真空対応)

    • 数量スライド割引

    コガネイ

    スタンダード電磁弁182シリーズ(真空対応)

    軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁。【特長】・強制離脱や真空破壊のできる真空・正圧併用タイプもシリーズ化・外部パイロット方式の採用により、2・3ポート弁の多様な機能を満載・コンパクトなボディながらたくみな多芸多才ぶりを発揮・配管ポート位置と流れ方向に制約を受けないNC(常時閉)・NO(常時開)共用の2・3ポート弁・真空はもちろん、正圧と併用しても使用可能で、真空破壊や強制離脱用バルブとして使用可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 外部パイロット形 10.2 Rc
    通常価格(税別) : 7,331円~
    通常出荷日 : 8日目
  • 真空切換弁ユニット MPV3シリーズ

    コンバム(旧:妙徳)

    真空切換弁ユニット MPV3シリーズ

    評価 0.0
    真空ポンプ、真空ラインの制御に使用できる真空切換弁ユニット。【特長】・正圧の力で内部バルブを切換え、真空流路をコントロール。・圧力センサ、フィルタ、流量調整機能、破壊流量調整機能をオールインワン。・真空源の一括管理に最適。・装置に合わせて、仕様の異なる、単体搭載も特注対応。・センサ搭載。【用途】・真空ポンプ真空流体制御に最適。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 3ポート弁 - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ - - -
    通常価格(税別) : 22,282円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • 《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

    コガネイ

    《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

    評価 0.0
    多様な制御ニーズに応えて、新たに正圧・常時開仕様と真空仕様をラインアップ!生産ラインの機械・装置にベストな制御系が選択可能になりました。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 0.1 ~ 0.45 M
    通常価格(税別) : 4,154円~
    通常出荷日 : 8日目~
  • インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    アリオス

    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    評価 0.0
    停電時の真空保管・安全対策に!【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90~260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ(TLV-02) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 410,401
    通常出荷日 : 15日目
  • 真空エジェクタユニット VSXPシリーズ

    CKD

    真空エジェクタユニット VSXPシリーズ

    評価 0.0
    軽量、コンパクトな外観、真空システムのハイサイクル化を実現した真空切換ユニット。【特長】・市場のニーズに応えた軽量、コンパクトな真空ユニット・真空ユニットVSXPの固定方法には、側面からネジ等により固定するダイレクトマウントタイプ、およびDINレールへの取付けが可能なDINレール取付タイプを用意・真空用圧力スイッチには、視認性の良いデジタル表示付真空用圧力スイッチを用意・デジタル表示付真空用圧力スイッチには、2点スイッチ出力付き、およびアナログ出力付きの2タイプを用意・様々な用途、コストに合わせた選択が可能【用途】・配線にはコネクタ方式を採用し、配線レイアウトを容易に行える
    CAD :
    2D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ 直動形 4.5 ワンタッチ配管
    通常出荷日 : 8日目~
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

      制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

        スタンダード電磁弁112シリーズ(真空対応)

          真空ポンプ対応ユニット VQP(真空スイッチ付)

            スタンダード電磁弁182シリーズ(真空対応)

              真空切換弁ユニット MPV3シリーズ

                《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

                  インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                    真空エジェクタユニット VSXPシリーズ

                    メーカー

                    SMC

                    コガネイ

                    コガネイ

                    日本ピスコ

                    コガネイ

                    コンバム(旧:妙徳)

                    コガネイ

                    アリオス

                    CKD

                    シリーズ名

                    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

                    制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

                    スタンダード電磁弁112シリーズ(真空対応)

                    真空ポンプ対応ユニット VQP(真空スイッチ付)

                    スタンダード電磁弁182シリーズ(真空対応)

                    真空切換弁ユニット MPV3シリーズ

                    《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

                    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                    真空エジェクタユニット VSXPシリーズ

                    CAD
                    • 2D / 3D
                    • 3D
                    • 2D / 3D
                    • 2D
                    通常価格
                    (税別)

                    33,277円

                    9,599円

                    5,985円

                    27,486円

                    7,331円

                    • 数量別スライド値引

                    22,282円

                    4,154円

                    410,401円

                    -

                    通常出荷日 在庫品1日目~
                    一部当日出荷可能
                    在庫品1日目~
                    一部当日出荷可能
                    8日目 8日目~ 8日目 6日目~ 8日目~ 15日目 8日目~
                    種類電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁電磁真空弁
                    用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用 / 多連単体使用 / 多連単体使用 / 多連単体使用単体使用
                    設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト / マニホールドベースダイレクト / マニホールドベースダイレクト / マニホールドベースダイレクトダイレクト
                    ポート数2ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁-2ポート弁 / 3ポート弁3ポート弁2ポート弁 / 3ポート弁2ポート弁2ポート弁
                    ソレノイドの種類シングルシングルシングル-シングル-シングルシングル-
                    切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン2位置ノーマルクローズ
                    電磁弁駆動の種類直動形直動形外部パイロット形エアパイロット外部パイロット形-直動形直動形直動形
                    有効断面積(mm2)-8.54.2-10.2-0.1 ~ 0.45-4.5
                    配管口の種類フランジRcMワンタッチ配管Rc-Mフランジワンタッチ配管
                    配管ねじの呼び-1/4M5-1/8-M5 / M3--
                    接続チューブ径--------φ4 / φ6
                    フランジ種類KF------NW / その他-
                    フランジ呼び16 / 25------40 / 70-
                    CV値-0.470.23-0.57-0.006 ~ 0.025--
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