よくあるご質問

使用できる温度・環境は？

真空では使用できますか？

残念ながら数値として保証することはできません。正確な数値はだせませんが、10-4Pa程度の真空度を要求するユーザーに対して真空グリスに交換したリニアボール式ステージを出荷した実績はあります。

■リニアボール式ステージ
厳密には真空グリスは適用できません。
リニアボール式ステージの精度を維持する為に分解はできないので、洗浄液を吹きかけて標準クリーングリスを洗い流すや　り方とならざるを得ず完全には除去できません。これをご了承いただければ、対応は可能です。
■アリ溝式ステージ・クロスローラ式ステージ
黒アルマイトなどからもアウトガス（真空中で物質から放出される気体。真空度を落としてしまう）が発生する為、真空対応にするには、黒アルマイトを除去する必要があります。特注対応でも非常にコストがかかるため現実的には対応できません。
■グリス自体の性能
グリスが気化することによって、20℃だと6.4×10-11Pa、100℃だと5.6×10-6Paの圧力が発生します。
（ちなみに通常の気圧が1000hPa＝105Pa）。

許容モーメント荷重とはなんですか？

まず徐々に力を加えていき、次の条件を満たす範囲の荷重の最大値を測定します。
その1/3の数値を許容モーメント荷重と定義しています。

モーメント剛性とは？

テーブル面の中心から離れた位置に負荷された荷重に対するステージの
強さのことです。【単位：sec／N・cｍ】
テーブル面の中心から1cm離れた位置に1Nの荷重を加えた際、
テーブル面が傾く角度（sec）を示します。
直動ステージは3方向(Ｘ軸回り、Ｙ軸回り、Ｚ軸回り)があります。

耐荷重とは？

ステージが耐え得る荷重のことです。(基本的には静荷重が前提です。)
その他のSPEC（移動精度etc）とは別になります。

真直度とは？

直動ステージをフルストロークさせたとき、移動理想軸(始点と終点を結ぶ直線)
に対してどれだけ蛇行して移動しているかを表す数値です。
理想軸（直線）からの水平方向または垂直方向のいずれかの最大ずれ量とします。
【単位：μｍ】

平行度とは？走り平行度とは？

平行度とは、設置面に対するテーブル面の平行度のことです。
【単位：μｍ】

走り平行度とは、設置面に対する移動軸の平行度のことです。
【単位：μｍ／フルストローク】

垂直度とは？走り垂直度とは？

垂直度とは、設置面に対するテーブル面の垂直度のことです。
【単位：μｍ】

走り垂直度とは、設置面に対する移動軸の垂直度のことです。
【単位：μｍ／フルストローク】

ＸＹ直交度とは？

Ｘ移動軸に対するＹ移動軸の直交度のことです。
【単位：μｍ／フルストローク】

グリスは何を使っていますか？型式は？: 各ステージに使用されているグリスは次の通りです。

リニアボール式ステージ：クリーン環境用グリス、THK(株)の「AFFグリス」を標準使用。
クロスローラ式ステージは：昭和シェル石油（株）の「シェルアルバニヤグリスNo.2」を使用。
アリ溝式ステージ、ゴニオステージ、回転ステージ：（株）杉浦研究所の光学特殊グリス「S-40」を使用。
マイクロメータヘッド：日本グリース（株）の「ニグエース」グリスを使用。