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ヘパ・ウルパフィルタユニット

ヘパ・ウルパフィルタユニットの特長

  • 一般工業用クリーンルーム機器で、ヘパISOクラス5~9、ウルパISOクラス3~6に対応ができます。
  • 100V, 200Vの電源仕様があります。
  • 吹出口清浄度は、ヘパISOクラス5、ウルパISOクラス3です。
  • 風量の種類はヘパ1,3,5,10,15,25m3/min、ウルパ2.5,4,7,13,20m3/minがあります。
  • プレフィルタの標準取付により粗塵を捕集し、ヘパあるいはウルパフィルタの交換時期をのばすことができます。
  • 動作中を示すLEDがフィルタ下面中央部にあり、動作確認を外部から目視できます。(風量1シリーズ除く)

ヘパ・ウルパの規格

  • JIS規格では定格流量で粒径が0.3μmの粒子に対して、99.97%以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つフィルタをHEPA(High    Efficiency Particulate Air)フィルタ(高性能フィルタ)と呼びます。
  • また、定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して、99.9995%以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つフィルタをULPA(Ultra    Low Penetration Air)フィルタ(超高性能フィルタ)と呼びます。

ヘパ・ウルパフィルタの選択方法

ヘパフィルタの選択は下記を目安としてください。(米国連邦規格によるクラス表示を使用)

  • クラス100:全面層流となる風量のユニット
  • クラス1000:換気回数80回となる風量のユニット
  • クラス10000:換気回数50回となる風量のユニット
  • クラス100000:換気回数20回となる風量のユニット

ウルパフィルタの選択については、全面層流となるようご設計ください。

  • 換気回数による清浄度クラスの定義は、あくまで目安です。パーティクルカウンタ(HEPACT インターネット掲載)を使用し、実測値に基づき清浄度クラスの定義をされることをお薦めします。

清浄度の規格

清浄度は単位体積当りに含まれる基準粒径の数で示されます。規格により、基準粒径と単位体積が異なるので注意が必要です。
ミスミのヘパ・ウルパフィルタの対象範囲を下表の網がけで示します。半導体分野の一部では規格として0.1μm/ft3が用いられています。

取付例

機能

異常検知機能

サーキットプロテクター付スイッチを採用しており、過電流を検知した場合にはスイッチが強制的に“OFF”となり、装置が停止します。復帰させる場合には安全に再使用できることを確認し、スイッチを入れてください。

動作中表示機能

スイッチを入れると、クリーンエアー吹出し面の高輝度LED運転表示灯が点灯します。表示灯を点灯させたくない場合には、メインフィルタを外し本体ケース側面に設置されている表示灯用基盤のガラス管ヒューズを取り外してご使用ください。(下図参照)風量1シリーズには表示灯がありません。

保守・点検

外側

  • 柔らかい布で、から拭きしてください。(クリーンルーム設置の場合は、発塵性の低い布が良い。)
  • 汚れがひどい場合は、ぬるま湯か中性洗剤をご使用ください。(クリーンルーム設置の場合は、純水や精製水をご使用ください。)
  • 中性洗剤を使用した後は、必ずきれいな水を含ませた布で拭き取り、から拭きをしてください。

メインフィルタ(HEPACF 商品ページ

  • メインフィルタは塵埃の蓄積と共に空気が通過しにくくなり、風速・風量が減少します。
  • 1/2になる状態を通常寿命としております。フィルタ目詰表示付スイッチユニットをご使用されない場合、メインフィルタの交換目安は連続運転の場合、一般室内では約1年、ISOクラス7(クラス10,000)の室内では約5年です。

プレフィルタ

  • プレフィルタは定期的に清掃してください。

配線図










風量25シリーズ 記号・名称

SW

サーキットプロテクター付スイッチ(3A)

LED

高輝度発光ダイオード(赤色)

FM1, 2

ファンモーター

CN1, 2

ファン用コネクター

C1, 2

コンデンサー

CN3

表示灯用コネクター

DC

DC電源基盤(HD4077613)

CN4, 5

アース用コネクター

各部の名称

<風量1シリーズ>

風量1シリーズ

<風量3~シリーズ>

風量3~シリーズ

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